[发明专利]不包含磷酸的蚀刻液组合物以及利用上述蚀刻液组合物的金属布线的形成方法

说明书

本发明公开一种在有机发光二极管(OLED)像素制造中使用的不包含磷酸的蚀刻液组合物以及利用上述蚀刻液组合物的金属布线形成方法。具体来讲，涉及一种通过在金属布线的制造工程中将金属膜蚀刻成特定图案而形成金属布线的蚀刻液组合物。上述蚀刻液组合物包含：羧基化合物40至60重量％、磺酸化合物1至4.9重量％、硝酸盐化合物10至20重量％、唑类化合物0.1至1重量％、以及余量的水。

技术领域

本发明涉及一种不包含磷酸的蚀刻液组合物以及利用上述蚀刻液组合物的金属布线的形成方法，尤其涉及一种适用于有机发光二极管(OLED)像素的不包含磷酸的蚀刻液组合物以及利用上述蚀刻液组合物的金属布线的形成方法。

背景技术

在现代社会，用于对多种多样的大量信息进行处理并对上述信息进行显示的显示装置正在快速发展。而且为了表现出信息的多样性以及上述信息中所包含的数据，显示装置也得到了多样化的发展。显示装置从阴极射线管(CRT，Cathode-ray tube)时代快速发展到了目前被广泛使用的液晶显示装置(LCD，Liquid Crystal Display device)、有机发光二极管(OLED，Organic Light Emitting Diodes)等。在从阴极射线管(CRT)发展到液晶显示装置(LCD)以及有机发光二极管(OLED)的过程中，显示屏的适用范围也变得越来越广泛，因此构成显示装置的材料也随之一起发展。

虽然目前显示屏市场的主流趋势(Trend)仍然是以液晶显示装置(LCD)为主，但是因为液晶显示装置(LCD)的限制以及有机发光二极管(OLED)的优势，人们越来越多地开始尝试有机发光二极管(OLED)相关的开发以及在各种领域的适用。除了有机发光二极管(OLED)的优势之外，在经济性方面液晶显示装置(LCD)的市场份额正在逐渐萎缩，而有机发光二极管(OLED)的市场份额正在逐渐扩大。

有机发光二极管(OLED)是与液晶显示装置(LCD)相比具有多种优势的显示装置。与液晶显示装置(LCD)相比，有机发光二极管(OLED)具有明暗对比度高、响应速度快以及显示装置的厚度薄等优势，而且因为具有较宽的视野角且可以自由变更其形态，因此还可以适用于柔性显示屏。在经济性方面，在因为液晶显示装置(LCD)市场的饱和而需要新的显示屏市场的背景下，有机发光二极管(OLED)具有形成全新市场的充分潜力。对液晶显示装置(LCD)与有机发光二极管(OLED)的结构性差异进行确认，就可以简单地了解到有机发光二极管(OLED)使用银(Ag)的原因。其中最大的差异点在于，在有机发光二极管(OLED)中不会使用构成液晶显示装置(LCD)结构的背光单元(BLU，Black light uint)以及滤色镜(ColorFilter)。这是因为有机发光二极管(OLED)本身就是发光元件，不需要使用其他用于生成特定光线的装置。因此，有机发光二极管(OLED)为了防止光线损失而使用银构成特定布线。银具有较低的电阻率、较高的亮度以及较高的导电率，有利于构成有机发光二极管(OLED)的布线。

但是，在使用含银的薄膜时，如果使用传统的蚀刻液执行布线蚀刻工程，则可能会因为银的切割尺寸偏斜(CD-Skew)较大而导致布线宽度的均匀度不良的问题。此外，不均匀的蚀刻还可能会导致银残渣的发生，而且在与构成下部布线的金属发生反应时还可能会生成还原性银的析出物。银的残渣以及析出物会进一步导致被称之为暗点的不良现象。而这种问题归因于特定的组成物质，因此急需开发出一种不包含特定组成物质的全新的蚀刻液。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种与目前所使用的含磷酸的混酸类蚀刻液不同的，可以通过仅对构成布线的金属中的银进行选择性蚀刻而在实现较小的切割尺寸偏斜(CD-Skew)的同时大幅提升其经时性，而且可以通过提升对银的蚀刻率而解决与银的残渣相关的问题，并通过防止传统蚀刻液的问题即与其他布线发生的反应而避免出现析出现象的蚀刻液组合物。

本发明的另一目的在于提供一种可以在利用上述蚀刻液组合物的金属布线的制造工程中将金属膜蚀刻成特定图案的金属布线形成方法。