[发明专利]不包含磷酸的蚀刻液组合物以及利用上述蚀刻液组合物的金属布线的形成方法

权利要求书

1.一种蚀刻液组合物，其特征在于，包含：

羧基化合物40至60重量％；

磺酸化合物1至4.9重量％；

硝酸盐化合物10至20重量％；

唑类化合物0.1至1重量％；以及

余量的水。

2.根据权利要求1所述的蚀刻液组合物，其特征在于：

上述蚀刻液组合物不包含磷酸。

3.根据权利要求1所述的蚀刻液组合物，其特征在于：

上述唑类化合物是从由唑、咪唑、吡唑、氨基噻唑、乙内酰脲、苯并三唑以及它们的混合物构成的组中选择的至少1种以上。

4.根据权利要求1所述的蚀刻液组合物，其特征在于：

上述硝酸盐化合物是从由硝酸(HNO₃)、硝酸钾(KNO₃)、硝酸铵(NH₄NO₃)、硝酸钠(NaNO₃)、硝酸铁(Fe(NO₃)₃)以及它们的混合物构成的组中选择的至少2种以上。

5.根据权利要求1所述的蚀刻液组合物，其特征在于：

上述羧基化合物是从由乙酸、苹果酸、柠檬酸、酒石酸、乳酸、丙二酸、甲酸、琥珀酸、富马酸以及它们的混合物构成的组中选择的3种以上。

6.根据权利要求5所述的蚀刻液组合物，其特征在于：

上述羧基化合物包含柠檬酸以及乙酸。

7.根据权利要求6所述的蚀刻液组合物，其特征在于：

相对于整体羧基化合物100重量％，上述柠檬酸的含量为35至48重量％，上述乙酸的含量为35至50重量％，从由苹果酸、酒石酸、乳酸、丙二酸、甲酸、琥珀酸、富马酸以及它们的混合物构成的组中选择的1种以上的化合物的含量为2至30重量％。

8.根据权利要求7所述的蚀刻液组合物，其特征在于：

上述羧基化合物包含0.1至10重量％的苹果酸。

9.根据权利要求1所述的蚀刻液组合物，其特征在于：

上述磺酸化合物是从由甲基磺酸(CH₄O₃S)、对甲苯磺酸(CH₃C₆H₄SO₃H)、苯磺酸(C₆H₅SO₃H)、氨基甲磺酸(CH₅NO₃S)、氨基磺酸(H₃NSO₃)以及它们的混合物构成的组中选择的1种以上。