[发明专利]一种非晶硅太阳能电池生产工艺

权利要求书

1.一种非晶硅太阳能电池生产工艺，其特征在于，该工艺包括如下步骤：

步骤一：准备原材料，玻璃基板，然后将其放入水池中进行清洗；

步骤二：将步骤一中清洗好的玻璃基板，装入固定夹中，然后通过印刷或者红外激光印刻，在玻璃基板表面镀上一层氧化铟锡，即ITO；

步骤三：将步骤二中通过印刷方式镀上一层氧化铟锡后的玻璃基板进行烘烤，然后通过激光对玻璃基板表面进行灼刻；

步骤四：将步骤二中红外激光印刻，以及步骤三中灼刻后的玻璃基片进行清洗，然后装入玻璃基板夹具中，预热后送入非晶硅沉积炉中沉积PIN型非晶硅薄膜；

步骤五：将步骤四中已经沉积非晶硅薄膜的玻璃基板从玻璃基板夹具中卸下，然后进行激光刻膜，结束后，快速对激光刻膜后的玻璃基板表面印制炭浆；

步骤六：将步骤五中完成印制炭浆后的非晶硅薄膜的玻璃基板放入烘烤箱中，进行烘烤；

步骤七：在步骤六中完成烘烤后的非晶硅薄膜的玻璃基板上，印制集成碳膜层背电极，然后印制电池保护漆，然后再次放入烘烤箱中进行烘烤，烘烤结束后在印制电池保护漆后的玻璃基板上印制字符；

步骤八：将步骤其中印制字符后的玻璃基板放入烘烤箱进行烘烤，然后取出，清洗玻璃基板表面碎屑，清洗结束后，再次放入烘烤箱进行烘烤；

步骤九：在步骤八中经过两次烘烤后的玻璃基板上印制电池铜可焊电极，然后放入烘烤炉中进行烘烤；

步骤十：取出步骤九中烘烤后的玻璃基板，然后进行大片清洁，清除玻璃基板表面的杂质，然后将清洁后的玻璃基板上集成排列的该非晶硅太阳能电池切割为单体非晶硅太阳能电池，分片；

步骤十一：将步骤十中分割后的玻璃基板放置震动装置中，进行裂片测试，通过观察，判断产品是否符合要求，最后将合格产品进行打包，入库。

2.根据权利要求1所述的一种非晶硅太阳能电池生产工艺，其特征在于，所述步骤一中，水池的水温保持在25-35℃，且玻璃基板在水池中浸泡5-10min后取出。

3.根据权利要求1所述的一种非晶硅太阳能电池生产工艺，其特征在于，所述步骤二中红外激光印刻过程中，激光发射头外部设置有防护装置，降低对操作人员的伤害。

4.根据权利要求1所述的一种非晶硅太阳能电池生产工艺，其特征在于，所述步骤七中，印制字符的线条宽度保持在50-60微米。

5.根据权利要求1所述的一种非晶硅太阳能电池生产工艺，其特征在于，所述步骤十一中，在打包箱的内部设置有大量泡沫，海绵等缓冲材料，使得在运输，入库过程中起到缓冲保护作用。