[发明专利]一种立体悬空电感器及其制造方法

权利要求书

1.一种立体悬空电感器的制造方法，其包括以下步骤：

（1）提供第一陶瓷板、牺牲板、第二陶瓷板；所述第一陶瓷板的上表面具有平行排布的多个第一凹槽，以及连接所述多个第一凹槽的入口段和出口段，所述多个第一凹槽分别具有第一端和第二端；所述牺牲板内具有对应于第一端的多个第一通孔和对应于所述第二端的多个第二通孔；所述第二陶瓷板的下表面具有平行排布的多个第二凹槽，所述多个第二凹槽分别具有第三端和第四端，其中，所述第三端与多个第一通孔对应，所述第四端与多个第二通孔对应；

（2）将所述第一陶瓷板、牺牲板、第二陶瓷板热压在一起，形成堆叠基板结构，其中，所述多个第一凹槽的第一端通过所述多个第一通孔与所述多个第二凹槽的第三端相连通，所述多个第一凹槽的第二端通过所述多个第二通孔与所述多个第二凹槽的第四端相连通，以使得所述多个第一凹槽和多个第二凹槽以及多个第一通孔和第二通孔连通形成螺旋形通道，所述螺旋形通道的首尾段分别连接所述入口段和出口段；

（3）从所述入口段填充导电材料，所述导电材料填充满所述螺旋形通道，且多余的导电材料通过所述出口段流出；经由固化所述导电材料形成螺旋电感结构，所述螺旋电感结构包括首端的第一连接部和尾端的第二连接部；

（4）在所述堆叠基板中形成贯穿所述第一陶瓷板和牺牲板并延伸至所述第二陶瓷板上表面的多个导电盲孔，所述多个导电盲孔中的第一导电盲孔电连接所述第一连接部，所述多个导电盲孔中的第二导电盲孔电连接所述第二连接部；

（5）去除所述牺牲板，使得所述螺旋电感结构在所述牺牲板位置处悬空并露出，所述第一陶瓷板和第二陶瓷板之间形成空气隙。

2.根据权利要求1所述的立体悬空电感器的制造方法，其特征在于：所述牺牲板的材料为光刻胶材料，在步骤（5）中去除所述牺牲板包括用蚀刻液去除所述光刻胶材料。

3.根据权利要求1所述的立体悬空电感器的制造方法，其特征在于：所述第一陶瓷板内还具有一出气孔，所述出气孔连通所述多个第一凹槽的其中之一。

4.根据权利要求3所述的立体悬空电感器的制造方法，其特征在于：在步骤（3）中，所述出气孔同时被所述导电材料填充，所述导电材料在所述第一陶瓷板的下表面露出。

5.根据权利要求1所述的立体悬空电感器的制造方法，其特征在于：所述多个导电盲孔包括至少6个，所述多个导电盲孔环绕于所述螺旋电感结构周围。

6.一种立体悬空电感器，其由权利要求1所述的立体悬空电感器的制造方法形成，具体包括：

螺旋电感结构，包括第一连接部、第二连接部、多个第一水平部、多个第二水平部以及连接多个第一水平板和多个第二水平部的多个垂直连接部；所述多个第一水平部与所述多个第二水平部通过所述多个垂直连接部顺序连接形成螺旋结构，且所述第一连接部和所述第二连接部分别位于螺旋电感结构的两端作为端子使用；

第一陶瓷板和第二陶瓷板，所述第一陶瓷板与所述第二陶瓷板之间具有空隙；所述第一陶瓷板的上表面具有平行排布的多个第一凹槽，以及连接所述多个第一凹槽的入口段和出口段，所述多个第一凹槽分别具有第一端和第二端；所述第二陶瓷板的下表面具有平行排布的多个第二凹槽，所述多个第二凹槽分别具有第三端和第四端，其中，所述第三端和第四端与多个垂直连接部一一对应；其中，所述多个第一水平部形成于所述多个第一凹槽内，所述多个第二水平部形成于所述多个第二凹槽内，所述第一连接部形成于所述入口段内，所述第二连接部形成于所述出口段内，且所述多个垂直连接部位于所述空气隙内；

多个导电盲孔，贯穿所述第一陶瓷板并穿过所述空气隙延伸至所述第二陶瓷板上表面，所述多个导电盲孔中的第一导电盲孔电连接所述第一连接部，所述多个导电盲孔中的第二导电盲孔电连接所述第二连接部。

7.根据权利要求6所述的电感器，其特征在于：所述第一陶瓷板内还具有一出气孔，所述出气孔连通所述多个第一凹槽的其中之一，且所述出气孔同时被导电材料填充，所述导电材料在所述第一陶瓷板的下表面露出。

8.根据权利要求7所述的电感器，其特征在于：所述导电材料为导电油墨或者具有导电颗粒的树脂材料。