[发明专利]一种单晶生长过程压力监控系统

说明书

本发明公开了一种单晶生长过程压力监控系统，其技术方案是：包括底板，所述底板顶部固定连接有石英坩埚和储气罐，所述石英坩埚位于储气罐一侧，所述石英坩埚一侧设有压紧机构；所述压紧机构包括密封罩，所述密封罩固定连接在石英坩埚一侧，所述密封罩位于石英坩埚和储气罐内侧，所述密封罩内部嵌设有基座，一种单晶生长过程压力监控系统有益效果是：通过设置压紧机构，可在压力调节时，两个夹座同时靠近将支管和接口夹紧，保证接口和支管连接的可靠性，避免泄露发生，同时还可实时对石英坩埚、储气罐和密封罩内部进行压力监测，并可通过密封罩内部压力变化判断是否泄露，好及时通知维修。

技术领域

本发明涉及单晶生长技术领域，具体涉及一种单晶生长过程压力监控系统。

背景技术

单晶，是一种共价键化合物，是原子晶体，属类金刚石六方晶系，纤锌矿型的晶体结构，无毒，呈白色或灰白色，最高可稳定到2200℃。室温强度高，且强度随温度的升高下降较慢。导热性好，热膨胀系数小，是良好的耐热冲击材料。抗熔融金属侵蚀的能力强，是熔铸纯铁、铝或铝合金理想的坩埚材料。单晶还是电绝缘体，介电性能良好，用作电器元件也很有希望。

现有技术存在以下不足：目前单晶在长晶过程中，需要对其生长环境的压力进行往复调节，但在压力调节时，无法有效的对压力进行监控，以及无法有效对压力调节的安全进行保障。

因此，发明一种单晶生长过程压力监控系统很有必要。

发明内容

为此，本发明提供一种单晶生长过程压力监控系统，通过设置压紧机构，可在压力调节时，两个夹座同时靠近将支管和接口夹紧，保证接口和支管连接的可靠性，避免泄露发生，同时还可实时对石英坩埚、储气罐和密封罩内部进行压力监测，并可通过密封罩内部压力变化判断是否泄露，好及时通知维修，以解决现有技术中单晶在长晶过程中，需要对其生长环境的压力进行往复调节，但在压力调节时，无法有效的对压力进行监控，以及无法有效对压力调节的安全进行保障的问题。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种单晶生长过程压力监控系统，包括底板，所述底板顶部固定连接有石英坩埚和储气罐，所述石英坩埚位于储气罐一侧，所述石英坩埚一侧设有压紧机构；

所述压紧机构包括密封罩，所述密封罩固定连接在石英坩埚一侧，所述密封罩位于石英坩埚和储气罐内侧，所述密封罩内部嵌设有基座，所述基座与石英坩埚一侧固定连接，所述密封罩顶部固定连接有电机，所述基座顶部开设有空腔，所述电机输出轴延伸至空腔内部，所述电机输出轴底端固定连接有第一锥齿轮，所述空腔内部嵌设有转轴，所述转轴两端分别延伸至空腔两侧内部，所述转轴外侧固定套接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮位于第一锥齿轮底部，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合连接，所述转轴外侧固定套接有两个第三锥齿轮，两个所述第三锥齿轮分别位于第二锥齿轮两侧，所述基座两侧内壁均开设有限位槽，所述石英坩埚一侧固定连接有接口，所述接口一端设有支管，所述支管一端延伸至密封罩一侧外部，所述基座内部嵌设有两个夹座，两个所述夹座分别位于接口顶部和底部两侧，两个所述夹座两侧均固定连接有限位座，两个所述限位槽内部均嵌设有螺纹杆，所述螺纹杆套设在限位座内部，所述螺纹杆与限位座螺纹连接，两个所述螺纹杆顶端均延伸至空腔内部，两个所述螺纹杆底端均延伸至基座底部，两个所述螺纹杆顶端均固定连接有第四锥齿轮，两个所述第四锥齿轮分别位于两个第三锥齿轮底部，所述第四锥齿轮与第三锥齿轮啮合连接，所述储气罐一侧固定连接有气泵，所述气泵进气端与支管底端固定连接，所述气泵出气端固定连接有出气管，所述出气管底端与储气罐固定连接，所述支管上设有第一电磁阀，所述出气管上设有第二电磁阀；

所述石英坩埚顶部内壁固定连接有温度传感器、第一压力传感器和湿度传感器，所述第一压力传感器位于温度传感器和湿度传感器内侧，所述密封罩顶部内壁固定连接有第二压力传感器，所述储气罐顶部内壁固定连接有第三压力传感器，所述储气罐顶部固定连接有机箱，所述机箱前侧固定嵌设有显示器，所述机箱内部固定嵌设安装有中央处理器，所述机箱顶部固定连接有警报器；