[发明专利]真空泵的制造方法

说明书

本发明的真空泵的制造方法使隔热部件的加工性与加工精度提高。真空泵的制造方法包含：通过利用加工夹具(90)来夹持突部(52)的上表面与下表面，而将隔热部件(50)安装于加工夹具(90)的工序；在利用加工夹具(90)来夹持突部(52)的状态下，利用切削工具对上部接触面(54)或下部接触面(56)进行切削的工序；使上部接触面(54)接触定子(20)，通过金属接触而形成真空密封的工序；以及使下部接触面(56)接触泵框体，通过金属接触而形成真空密封的工序。

本发明是2018年1月26日所提出的申请号为201810078329.8、发明名称为《真空泵》的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种真空泵的制造方法。

背景技术

对于利用涡轮分子泵使腔室内成为高真空而进行化学气相沉积(Chemical VaporDeposition，CVD)成膜或蚀刻的装置来说，根据排出气体的种类，气体会在泵内部凝聚，生成物容易附着在泵内。已知有如下涡轮分子泵，所述涡轮分子泵为了抑制此种生成物附着于螺杆槽泵段等，隔着隔热部件将定子(stator)固定于壳体，由此来抑制定子温度的下降(例如参照专利文献1)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2015-151932号公报。

发明内容

[发明所要解决的问题]

但是，所述专利文献并未涉及隔热部件的与壳体或定子接触的接触面的机械加工。

[解决问题的技术手段]

(1)本发明的一形态的真空泵包括：泵框体；马达，在泵框体内旋转；转子，由马达旋转驱动；定子，设置在转子与泵框体之间；以及隔热部件，设置在定子与泵框体之间，隔热部件包括圆筒形状的主体、及设置于主体的内周面及外周面中的至少一个面的加工用被夹持部。

(2)优选隔热部件在主体的内周面及外周面分别包括加工用被夹持部。

(3)更优选的形态的真空泵的主体包括沿着轴方向分割而成的至少第一圆筒部及第二圆筒部，第一圆筒部及第二圆筒部各自在所述内周面及外周面中的至少一个面分别包括加工用被夹持部。

(4)更优选的形态的真空泵在隔热部件的圆筒形状的主体的上下两端，未形成沿着外周方向延伸的凸缘。

[发明的效果]

根据本发明，能够提供如下隔热部件，即使将加工对象部位加工为薄壁，隔热部件的圆筒形状的主体也不会变形，且加工精度高。

附图说明

图1是表示真空泵的一例即涡轮分子泵的图。

图2是图1的点划线的圆所包围的部分的放大图。

图3是沿着圆筒的轴方向将隔热部件切断所得的示意性立体剖视图。

图4是示意性地表示利用加工夹具夹持着突部的状态的剖视图。

图5是表示变形例的图。

图6是表示变形例的图。

图7是表示变形例的图。

【主要元件符号说明】

1：泵单元 2：控制单元

3：基座 4：泵转子(转子)

5：轴 10：马达定子