[发明专利]真空泵的制造方法

权利要求书

1.一种真空泵的制造方法，所述真空泵包括：

泵框体；

马达，在所述泵框体内旋转；

转子，由所述马达旋转驱动；

定子，设置在所述转子与所述泵框体之间；以及

隔热部件，设置在所述定子与所述泵框体之间，

所述隔热部件包括圆筒形状的主体、及设置于所述主体的内周面及外周面中的至少一个面的加工用被夹持部，

所述圆筒形状的主体包含设置于所述圆筒形状的主体的上部的上部接触面、及设置于所述圆筒形状的主体的下部的下部接触面，

所述上部接触面经机械加工，且与所述定子接触，

所述下部接触面经机械加工，且与所述泵框体接触，且

所述加工用被夹持部包括突部，其中当对所述上部接触面或所述下部接触面进行机械加工时，使用加工夹具来夹持所述突部，且所述加工用被夹持部设置于轴方向上的所述上部接触面与所述下部接触面之间的位置；

所述真空泵的制造方法包含：

通过利用所述加工夹具来夹持所述突部的上表面与下表面，而将所述隔热部件安装于所述加工夹具的工序；

在利用所述加工夹具来夹持所述突部的状态下，利用切削工具对所述上部接触面或所述下部接触面进行切削的工序；

使所述上部接触面接触所述定子，通过金属接触而形成真空密封的工序；以及

使所述下部接触面接触所述泵框体，通过金属接触而形成真空密封的工序。

2.根据权利要求1所述的真空泵的制造方法，其中

所述隔热部件在所述主体的所述内周面及所述外周面分别包括所述加工用被夹持部。

3.根据权利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其中

所述主体包括沿着轴方向分割而成的至少第一圆筒部及第二圆筒部，

所述第一圆筒部及所述第二圆筒部各自在所述内周面及所述外周面中的至少一个面分别包括所述加工用被夹持部。

4.根据权利要求1或2所述的真空泵的制造方法，其中

在所述隔热部件的圆筒形状的主体的上下两端，未形成沿着外周方向延伸的凸缘。