[发明专利]可调频谱感测装置、出平面运动马达与其制备方法

说明书

本公开涉及可调频谱感测装置、出平面运动马达与其制备方法。本发明提供一种用于承载一对象的出平面运动马达。出平面运动马达包括：具有法线的基座；以及具有平行于该法线方向的运动方向的单轴运动马达，固定于该基座上，且包括用以承载并移动该对象的单轴致动器。本发明的出平面运动马达可以将对象保持在特定的旋转角度、将对象定位在特定的出平面位移、或者为对象编程以执行特定的扫描轨迹运动。出平面运动马达还具有大的运动行程，因此不需要使用多个可调频谱感测装置来满足频谱带宽的需求。

【相关申请案的交叉引用】

本申请案主张2019年11月7日申请的美国临时专利申请案第62/931,926号的优先权，其整体经由引用被并入本文。

【技术领域】

本发明关于一种出平面运动马达，特别关于一种包含出平面运动马达的可调频谱感测装置。

【背景技术】

致动器可通过振动状态分为共振型和非共振型。共振型致动器具有大的旋转行程，并由垂直的梳状结构驱动。然而，共振型致动器不能以某特定角度定位物体，这就是为什么共振型致动器总是以对称于零偏位置的路径运动。为了产生足够的扭力来旋转物体，驱动结构通常是物体尺寸的几倍大，并因此导致成本增加。可调频谱感测装置通常使用非共振型压电致动器，其行程很小，只有几百纳米。以可调法布立-佩罗(Fabry-Perot)为例，小行程致动器使可调法布立-佩罗难以满足许多应用所需的频谱带宽，因此必须将多个法布立-佩罗组合配置成一个群组或数组，以满足频谱带宽的需求。

【发明内容】

本发明揭露了一种包括出平面运动马达的可调频谱感测装置，其克服了现有技术中的缺点。出平面运动马达可以将对象保持在特定的旋转角度、将对象定位在特定的出平面位移、或者为对象编程以执行特定的扫描轨迹运动。出平面运动马达还具有大的运动行程，因此不需要使用多个可调频谱感测装置来满足频谱带宽的需求。

故为了达到上述之目的，本发明提供一种可调频谱感测装置，包括：一装置本体；一出平面运动马达，固定于该装置本体上，且包括：一基座，具有一法线；一传感器，设置于该基座上；以及一单轴致动器，固定在该基座上，具有平行于该法线的一运动方向，且包括：一基板，具有一电子组件；以及一致动端部，连接至该基板，且由该电子组件驱动；一第一玻璃，设置于该致动端部上，且由该致动端部移动；以及一第二玻璃，设置于该装置本体上。

为了达到上述之目的，本发明再提供一种用于承载一对象的出平面运动马达，包括：一基座，具有一法线方向；一单轴运动马达，具有平行于该法线方向的一运动方向，固定于该基座上，且包括用以承载并移动该对象的一单轴致动器。

为了达到上述之目的，本发明又再提供一种用以承载一对象的一出平面运动马达的制造方法，包括下列步骤：提供具有一法线方向的一基座；提供一单轴运动马达，具有平行于该法线方向的一运动方向，且包括一单轴致动器；以及将该单轴运动马达固定于该基座上，使该单轴致动器承载并移动该对象。

【附图说明】

本发明的上述目的及优点在参阅以下详细说明及附随图式之后对那些所属技术领域中的技术人员将变得更立即地显而易见。

[图1]是本发明的出平面运动马达的实施例俯视图。

[图2]是图1的出平面运动马达沿A-A’方向的侧剖面示意图。

[图3]是本发明的出平面运动马达的另一实施例的俯视图。

[图4]是图3的立体示意图。

[图5]是本发明的单轴致动器的示意图。

[图6]是本发明的单轴致动器晶圆的局部示意图。

[图7]是本发明的出平面运动致动器的分解图。

[图8]是本发明的出平面运动致动器的立体示意图。