[发明专利]可调频谱感测装置、出平面运动马达与其制备方法

权利要求书

1.一种可调频谱感测装置，包括：

装置本体；

出平面运动马达，固定于所述装置本体上，且包括：

基座，具有法线；

传感器，设置于所述基座上；以及

单轴致动器，固定在所述基座上，具有平行于所述法线的运动方向，且包括：

基板，具有电子组件；以及

致动端部，连接至所述基板，且由所述电子组件驱动；

第一玻璃，设置于所述致动端部上，且由所述致动端部移动；以及

第二玻璃，设置于所述装置本体上。

2.如权利要求1所述的可调频谱感测装置，其中所述单轴致动器的所述基板具有前表面与后表面，且具有贯通所述前表面与所述后表面的空腔。

3.如权利要求1所述的可调频谱感测装置，其中所述出平面运动马达还包括第二单轴致动器，具有平行于所述法线的运动方向。

4.如权利要求1所述的可调频谱感测装置，其中所述出平面运动马达还包括第二单轴致动器、第三单轴致动器、以及第四单轴致动器，皆具有平行于所述法线的运动方向。

5.如权利要求1所述的可调频谱感测装置，其中所述第一玻璃及所述第二玻璃为玻璃片，所述感测器为热电堆感测器、光侦测器、热电堆感测器阵列、光侦测器阵列、互补式金氧半导体(CMOS)影像感测器、具有致动器的CMOS影像感测器、热影像感测器、具有致动器的热影像感测器及其组合其中之一，以及所述致动端部为T柱。

6.如权利要求5所述的可调频谱感测装置，其中所述单轴致动器还包括主铰链及支点铰链，所述T柱通过所述主铰链及所述支点铰链连接至所述基板，且所述支点弹簧用于当所述第一玻璃与所述T柱之间的连接面具有剪切力时，防止所述第一玻璃从所述T柱上脱离。

7.一种用于承载物件的出平面运动马达，其特征在于，所述出平面运动马达包括：

基座，具有法线方向；以及

单轴运动马达，具有平行于所述法线方向的运动方向，固定于所述基座上，且包括用以承载并移动所述对象的单轴致动器。

8.如权利要求7所述的出平面运动马达，所述出平面运动马达还包括第二单轴致动器。

9.如权利要求7所述的出平面运动马达，所述出平面运动马达还包括第二单轴致动器、第三单轴致动器、以及第四单轴致动器。

10.如权利要求8所述的出平面运动马达，其中各所述单轴致动器包括具有电子元件的基板。

11.如权利要求10所述的出平面运动马达，其中所述单轴致动器还包括连接于所述基板的致动端部，所述致动端部由所述电子元件驱动以承载并移动所述物件，所述单轴致动器的所述基板具有前表面与后表面，且具有贯通所述前表面与所述后表面的空腔。

12.如权利要求11所述的出平面运动马达，其中所述致动端部为T柱。

13.如权利要求12所述的出平面运动马达，其中所述单轴运动马达还包括主铰链与支点铰链，所述T柱通过所述主铰链与所述支点铰链连接至所述基板，所述支点铰链用以当所述物件与所述T柱之间的连接面有剪切力施加于时，防止所述物件从所述T柱上脱离，且所述单轴致动器还包括梳状驱动电容，所述梳状驱动电容包含固定于所述基板的固定电极结构，以及连接至所述主铰链的可动电极结构。

14.一种用以承载物件的出平面运动马达的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括下列步骤：

提供具有法线方向的基座；

提供单轴运动马达，具有平行于所述法线方向的运动方向，且包括单轴致动器；以及

将所述单轴运动马达固定于所述基座上，使所述单轴致动器承载并移动所述对象。