[发明专利]一种氧化物浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法

权利要求书

1.一种浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法，其特征在于，对较小尺寸的氧化物靶材进行氧化物浆料粘结，压紧烘干，二次烧结，制备出大尺寸靶材。

2.如权利要求1所述的氧化物浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法，其特征在于，包括下面步骤：

1)高质量氧化物浆料的制备；

2)依据需求设计不同形状靶材不同拼接方案进行小块靶材拼接，然后进行氧化物浆料的粘结；

3)对靶材粘结处压紧固定烘干；

4)对粘结的整块大尺寸氧化物靶材进行进一步的烧结；

5)经过工艺打磨加工后，得到整块大尺寸氧化物靶材。

3.如权利要求1所述的氧化物浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法，其特征在于：氧化物粉末的纳米级为30-90nm，纳米级别氧化物粉的纯度在99.99wt％以上；向其中加入分散剂聚乙二醇，其比例为按纳米级氧化物粉末重量的0.5-3％；球磨机的材质为氧化锆，球磨时间为8-16h；向其中加入分散剂聚乙烯醇，其比例为按纳米级氧化物粉末重量的0.5-3％；搅拌操作3-6h。

4.如权利要求1所述的氧化物浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法，其特征在于：小块氧化物靶材的形状为普通的平面方形靶材，或者一侧为斜面的平面方形靶材，或者一侧为梯形状的平面方形靶材和高利用率的环形柱状靶材。

5.如权利要求1所述的氧化物浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法，其特征在于：拼接的靶材的拼接面有着高度的契合度。

6.如权利要求1所述的氧化物浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法，其特征在于：对粘结的整块大尺寸氧化物靶材进行进一步的烧结：先在500℃下保温4-10小时进行氧化物浆料的脱脂处理，然后在氧气环境下进行1400-1600℃的常压烧结处理保温5-8小时，随后随炉子冷却降温到室温。