[发明专利]吸附装置、压合设备及基板的压合方法

权利要求书

1.一种吸附装置，其特征在于，包括：

一载台，设置于一基板的一侧，所述载台包括复数个吸附孔；

复数个吸附机构，设置于所述载台上，每一所述吸附机构包括一软性吸嘴，每一所述软性吸嘴被配置为沿一所述吸附孔的轴向独立升降并用于吸附所述基板的表面，以矫正所述基板的翘曲；

每一所述软性吸嘴固定设置于相对应的一所述吸附孔一端的表面，所述软性吸嘴接触所述基板的一端相对于所述载台的高度可调节；

所述吸附机构还包括复数个真空管道，每一所述真空管道的一端与相对应的一所述吸附孔背离所述软性吸嘴的一端连接，所述真空管道的另一端与真空抽吸单元连接，所述真空抽吸单元用于控制每一所述真空管道的开启或关闭，以调节相对应的所述软性吸嘴的位移量；

在从所述基板中间朝向所述基板外侧边缘的延伸方向上，处于自然弹性状态下的所述软性吸嘴沿所述吸附孔的轴向高度逐渐增大；

所述软性吸嘴的材料具有高可压缩性及柔韧性；当所述软性吸嘴处于最大压缩状态时，所述软性吸嘴接触所述基板的一端相对于所述载台靠近所述基板一侧的表面仍具有一定的高度，所述软性吸嘴始终用于支撑并吸附所述基板；通过控制所述真空管道对所述软性吸嘴的抽吸程度，以调节所述软性吸嘴接触所述基板的一端相对于所述载台靠近所述基板一侧的表面的高度。

2.如权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述软性吸嘴的材料为热加硫型固态有机硅橡胶。

3.如权利要求2所述的吸附装置，其特征在于，所述软性吸嘴的横截面的形状为圆形、方形及三角形中的任一种。

4.如权利要求3所述的吸附装置，其特征在于，所述软性吸嘴的横截面的形状为圆形，所述圆形的直径为1厘米～5厘米。

5.一种压合设备，包括如权利要求1至4中任一项所述的吸附装置，其特征在于，所述压合设备还包括一压合机构，所述压合机构包括一压头和一支撑台，所述支撑台设置于所述基板靠近所述吸附装置的一侧并用于承载所述基板的外侧边缘，所述压头设置于所述基板背离所述支撑台的一侧并用于将覆晶薄膜的绑定区压合至所述基板上。

6.一种基板的压合方法，利用如权利要求5中所述的压合设备进行压合，其特征在于，所述压合方法包括步骤：

提供一基板，

通过所述吸附装置对所述基板进行吸附以矫正所述基板翘曲，以及，

通过一压合机构将一覆晶薄膜的绑定区压合至所述基板上。

7.根据权利要求6所述的压合方法，其特征在于，在所述吸附装置对所述基板进行吸附的过程中，还包括步骤：

根据所述基板各处的翘曲度控制复数个吸附机构分别上升相应的高度，使复数个吸附机构的软性吸嘴与所述基板进行面接触；

开启所述吸附装置的复数个真空管道，以控制相对应的各个吸附机构的软性吸嘴对所述基板表面进行真空吸附并使所述软性吸嘴吸附所述基板下降至同一高度，以使所述基板平整化。