[发明专利]量子级联激光器

说明书

本发明提供一种量子级联激光器，其具备：激光器结构体，具有在第1方向上射出激光的出射面；以及透镜，具有接受来自所述出射面的所述激光的入射面以及射出会聚后的所述激光的凸状面，所述激光器结构体具备半导体基板以及台面型波导，所述台面型波导设置于所述半导体基板的主面的第1区域上，并在所述第1方向上延伸，所述透镜包括半导体，并设置于所述半导体基板的所述主面的第2区域上，所述第1区域和所述第2区域在所述第1方向上排列。

技术领域

本公开涉及量子级联激光器。

背景技术

非专利文献1公开了一种量子级联激光器。

非专利文献1：Qi Jie Wang et al.,Highperformance quantum cascadelasers based on three-phononresonance design,APPLIED PHYSICS LETTERS,vol.94,011103(2009)

从量子级联激光器的出射面射出的激光具有一定程度的发散角，所以，有时发生扩散。在该情况下，例如接受激光的受光装置与量子级联激光器之间的光学耦合有可能变得不充分。

发明内容

本公开提供一种能够抑制所射出的激光的扩散的量子级联激光器。

本公开的一个方面的量子级联激光器具备：激光器结构体，具有在第1方向上射出激光的出射面；以及透镜，具有接受来自所述出射面的所述激光的入射面以及射出会聚后的所述激光的凸状面，所述激光器结构体具备半导体基板以及台面型波导，所述台面型波导设置于所述半导体基板的主面的第1区域上，并在所述第1方向上延伸，所述透镜包括半导体，并设置于所述半导体基板的所述主面的第2区域上，所述第1区域和所述第2区域在所述第1方向上排列。

发明效果

根据本公开，能够提供一种能够抑制所射出的激光的扩散的量子级联激光器。

附图说明

图1是示意性地示出一个实施方式的量子级联激光器的立体图。

图2是示意性地示出一个实施方式的量子级联激光器的俯视图。

图3是沿着图2的III-III线的剖视图。

图4的(a)是沿着图2的IVa-IVa线的剖视图，图4的(b)是沿着图2的IVb-IVb线的剖视图。

图5是示意性地示出一个实施方式的量子级联激光器的出射面的主视图。

图6的(a)和(b)是示出平凸透镜的曲率与由平凸透镜会聚后的激光的远场图像中的半极大处全宽度之间的关系的例子的图表。

图7是示出出射面处的狭缝的宽度与有效反射率之间的关系的例子的图表。

图8是示出狭缝的宽度与阈值电流之间的关系的例子的图表。

图9是示出使狭缝的宽度变化的情况下的电流与光输出之间的关系的例子的图表。

图10是示出使狭缝的宽度和氧化铝膜厚度变化的情况下的电流与光输出之间的关系的例子的图表。

图11的(a)至(e)是示出一个实施方式的量子级联激光器的制造方法中的各工序的图。

图12是示出图11的(e)的工序的俯视图。

图13是示出一个实施方式的量子级联激光器的制造方法中的一个工序的俯视图。

图14是示出一个实施方式的量子级联激光器的制造方法中的一个工序的俯视图。

具体实施方式

[本公开的实施方式的说明]