[发明专利]一种通用掩模夹具

说明书

本发明公开了一种通用掩模夹具，包括底座，所述底座上设有放置台，所述放置台上设有掩模，所述底座上设有用于夹持不同大小掩模的夹持装置，本发明通过设有夹持装置，可以解决目前阶段的掩模夹具存在的诸多不足，解决了在对于不同的掩模需要不同类型的夹具，无法实现一种夹具掩模通用的问题，在夹持不同大小的掩模时无需更换夹具，方便快捷。

技术领域

本发明涉及光刻技术领域，具体为一种通用掩模夹具。

背景技术

在半导体制造中，许多芯片工艺步骤采用光刻技术，用于这些步骤的图形底片称为掩模(也称作掩模)，其作用是在硅片上选定的区域中对一个不透明的图形模板遮盖，继而下面的腐蚀或扩散将只影响选定的区域以外的区域。

掩模夹具的出现大大方便了掩模的固定，但是目前阶段的掩模夹具，存在诸多的不足之处，在对于不同的掩模需要不同类型的夹具，无法实现一种夹具掩模通用，更换比较麻烦，实用价值低，为此，我们提出一种通用掩模夹具。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可以解决目前阶段的掩模夹具存在的诸多不足，解决了在对于不同的掩模需要不同类型的夹具，无法实现一种夹具掩模通用的问题，在夹持不同大小的掩模时无需更换夹具，方便快捷的通用掩模夹具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种通用掩模夹具，包括底座，所述底座上设有放置台，所述放置台上设有掩模，所述底座上设有用于夹持不同大小掩模的夹持装置，本发明通过设有夹持装置，可以解决目前阶段的掩模夹具存在的诸多不足，解决了在对于不同的掩模需要不同类型的夹具，无法实现一种夹具掩模通用的问题，在夹持不同大小的掩模时无需更换夹具，方便快捷。

优选的，所述夹持装置包括弹簧，所述弹簧设有多个，均匀分布在底座上，所述底座上设有滑槽，所述滑槽设有多个，均匀分布在底座上，所述弹簧一端固定在滑槽侧壁上，另一端设有滑块，所述滑块与滑槽滑动连接，所述滑块远离滑槽的一侧设有支杆，所述支杆远离滑块的一端设有用于放置掩模的放置结构，可以对不同大小的掩模进行夹持。

优选的，所述放置结构包括固定台，所述固定台固定在支杆远离滑块的一端上，所述固定台靠近放置台的一侧设有放置槽，所述放置槽内设有凹槽，所述凹槽内设有用于夹紧掩模的夹紧装置，用于放置掩模。

优选的，所述夹紧装置包括伸缩杆，所述伸缩杆一端与凹槽顶部固定，另一端设有抵块，所述伸缩杆上穿设有压簧，所述压簧一端固定在凹槽顶部上，另一端与抵块固定，可以对掩模的四角进行固定。

优选的，所述支杆远离放置台的一侧设有斜台，起到加固的作用。

与传统技术相比，本发明的有益效果是：

本发明通过设有夹持装置，可以解决目前阶段的掩模夹具存在的诸多不足，解决了在对于不同的掩模需要不同类型的夹具，无法实现一种夹具掩模通用的问题，在夹持不同大小的掩模时无需更换夹具，方便快捷。

附图说明

图1为本发明整体结构示意图；

图2为本发明整体结构俯视图

图3为图1中A处放大图；

图4为图1中B处放大图。

图中：1-底座；2-放置台；3-掩模；4-夹持装置；5-弹簧；6-滑槽；7-滑块；8-支杆；9-放置结构；10-固定台；11-放置槽；12-凹槽；13-夹紧装置；14-伸缩杆；15-抵块；16-压簧；17-斜台。

具体实施方式