[发明专利]一种通用掩模夹具在审
| 申请号： | 202011196576.1 | 申请日： | 2020-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN112213928A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 华卫群;尤春;刘维维;杨东海;顾梦星;刘浩 | 申请（专利权）人： | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人： | 吴忠义 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 通用 夹具 | ||
1.一种通用掩模夹具，包括底座(1)，所述底座(1)上设有放置台(2)，所述放置台(2)上设有掩模(3)，其特征在于：所述底座(1)上设有用于夹持不同大小掩模(3)的夹持装置(4)。
2.根据权利要求1所述的一种通用掩模夹具，其特征在于：所述夹持装置(4)包括弹簧(5)，所述弹簧(5)设有多个，均匀分布在底座(1)上，所述底座(1)上设有滑槽(6)，所述滑槽(6)设有多个，均匀分布在底座(1)上，所述弹簧(5)一端固定在滑槽(6)侧壁上，另一端设有滑块(7)，所述滑块(7)与滑槽(6)滑动连接，所述滑块(7)远离滑槽(6)的一侧设有支杆(8)，所述支杆(8)远离滑块(7)的一端设有用于放置掩模(3)的放置结构(9)。
3.根据权利要求2所述的一种通用掩模夹具，其特征在于：所述放置结构(9)包括固定台(10)，所述固定台(10)固定在支杆(8)远离滑块(7)的一端上，所述固定台(10)靠近放置台(2)的一侧设有放置槽(11)，所述放置槽(11)内设有凹槽(12)，所述凹槽(12)内设有用于夹紧掩模(3)的夹紧装置(13)。
4.根据权利要求3所述的一种通用掩模夹具，其特征在于：所述夹紧装置(13)包括伸缩杆(14)，所述伸缩杆(14)一端与凹槽(12)顶部固定，另一端设有抵块(15)，所述伸缩杆(14)上穿设有压簧(16)，所述压簧(16)一端固定在凹槽(12)顶部上，另一端与抵块(15)固定。
5.根据权利要求3所述的一种通用掩模夹具，其特征在于：所述支杆(8)远离放置台(2)的一侧设有斜台(17)。
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