[发明专利]磁控下溅射镀膜机

权利要求书

1.一种磁控下溅射镀膜机，其特征在于，所述磁控下溅射镀膜机包括安装支架、溅射阴极以安装架，所述安装架设置在所述安装支架内部上方，所述溅射阴极设置在所述安装支架内部并位于所述安装架的下方，所述安装架用于安装工件，所述安装架能够带动所述工件旋转。

2.根据权利要求1所述的磁控下溅射镀膜机，其特征在于，所述磁控下溅射镀膜机还包括两个旋转组件，两个所述旋转组件分设在所述安装架沿左右方向的两端，所述安装架的两端分别与两个所述旋转组件连接，所述旋转区间用于驱动所述旋转架绕两个所述旋转组件的连线旋转。

3.根据权利要求2所述的磁控下溅射镀膜机，其特征在于，所述旋转组件包括驱动电机以及旋转头，所述驱动电机与所述旋转头连接以驱动所述旋转头绕所述驱动电机的轴线旋转，所述旋转头与所述安装架的端部连接以带动所述安装架旋转。

4.根据权利要求3所述的磁控下溅射镀膜机，其特征在于，所述旋转头包括安装柱以及限位柱，所述限位柱的直径大于所述安装柱的直径，所述限位柱位于所述驱动电机和所述安装柱之间，所述驱动电机的输出轴穿设所述限位柱的轴心并卡持在所述安装柱的轴心内部，所述安装架的端部安装在所述安装柱的外表面上。

5.根据权利要求4所述的磁控下溅射镀膜机，其特征在于，所述安装架包括第一安装板以及第二安装板，所述第一安装板安装在所述第二安装板的上方，所述工件卡持在所述第一安装板上。

6.根据权利要求5所述的磁控下溅射镀膜机，其特征在于，所述第一安装板的长度大于所述第二安装板的长度，所述第二安装板的端部面对所述安装柱的侧壁和所述安装柱的侧壁相抵靠，所述第一安装板的下壁面与所述安装柱的外周壁相抵靠，所述第一安装板的外周壁与所述限位柱的面对所述安装架的侧壁相抵靠。

7.根据权利要求6所述的磁控下溅射镀膜机，其特征在于，所述第一安装板的轴心处开设有安装台阶，所述工件安装在所述安装台阶处。