[发明专利]激光器焦距的检测方法在审
申请号: | 202011190799.7 | 申请日: | 2020-10-30 |
公开(公告)号: | CN112345210A | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 付云博;曹策;王雨青;程路超;余毅 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人: | 高一明;郭婷 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光器 焦距 检测 方法 | ||
本发明公开一种激光器焦距的检测方法,包括如下步骤:S1、在激光器发出的激光束的辐射范围内将激光接收器移动至X方向和Y方向接收到的光强度信号的峰值位置A;其中,X方向和Y方向为平面方向;S2、将激光接收器偏离A位置后沿Z方向进行移动,将激光接收器接收到的信号从光强度信号变为噪声信号时的位置标记为B1,将激光接收器接收到的信号从噪声信号变为光强度信号时的位置标记为B2;其中,Z方向垂直于平面方向;S3、B1位置与B2位置的中间位置处与激光器的光学镜头之间的距离为所述激光器的焦距。本发明提供的激光器焦距的检测方法能够在激光接收器避开焦点的情形下进行焦距的检测,避免激光接收器在经过焦点时被损坏。
技术领域
本发明涉及激光检焦技术领域,特别涉及一种激光器焦距的检测方法。
背景技术
目前,检测激光器焦距的方法有两种,分别为申请号为2019108019668的发明专利所公开的方法和申请号为2018111875749的发明专利所公开的方法。
申请号为2019108019668的发明专利所公开的方法是沿Z方向移动光电探测器检测光斑的最小点,将光斑的最小点作为激光器的焦点,进而获得激光器的焦距。
申请号为2018111875749的发明专利所公开的方法是通过沿Z方向移动光功率计,通过光功率计检测光强大小,将光强最大点作为激光器的焦点,进而获得激光器的焦距。
上述两种方法存在一个相同的弊端:激光接收器在Z方向移动时必须经过激光器的焦点,由于激光器焦点处的光强度最大,容易损坏激光接收器。
发明内容
本发明的目的是为了克服已有技术的缺陷,为了解决传统的焦距检测方法中激光接收器必经过焦点的问题,提出了一种新的激光器焦距的检测方法,通过间接的方法测量激光器的焦距,能够使激光接收器避开焦点的位置,不被损坏。
本发明提供的激光器焦距的检测方法,包括如下步骤:
S1、在激光器发出的激光束的辐射范围内将激光接收器移动至X方向和Y方向接收到的光强度信号的峰值位置A;其中,X方向和Y方向为平面方向;
S2、将激光接收器偏离A位置后沿Z方向进行移动,将激光接收器接收到的信号从光强度信号变为噪声信号时的位置标记为B1,将激光接收器接收到的信号从噪声信号变为光强度信号时的位置标记为B2;其中,Z方向垂直于平面方向;
S3、B1位置与B2位置的中间位置处与激光器的光学镜头之间的距离为所述激光器的焦距。
优选地,通过光栅尺标记激光接收器的B1位置与B2位置,测量B1位置与B2位置之间的距离。
优选地,将激光接收器固定在三维运动机构上,通过三维运动机构带动激光接收器沿X方向、Y方向和Z方向移动。
优选地,在三维运动机构上刻有标尺,通过标尺测量B1位置与B2位置之间的距离。
优选地,步骤S1具体包括如下步骤:S110:带动激光接收器沿X方向移动,移动至X方向接收到的光强度的峰值点;S120:带动激光接收器沿Y方向移动,移动至Y方向接收到的光强度的峰值点。
优选地,步骤S1具体包括如下步骤:S110:带动激光接收器沿Y方向移动,移动至Y方向接收到的光强度的峰值点;S120:带动激光接收器沿X方向移动,移动至X方向接收到的光强度的峰值点。
优选地,激光接收器为光功率计或光电探测器。
本发明能够取得以下技术效果:
本发明通过间接的方法在激光接收器不经过焦点的情况下即可确定出焦点的位置,从而获得激光器的焦距,此检测方法可以使激光接收器避开焦点的位置,以免在经过焦点时被损坏。
附图说明
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