[发明专利]激光器焦距的检测方法在审
| 申请号： | 202011190799.7 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112345210A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 付云博;曹策;王雨青;程路超;余毅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光器 焦距 检测 方法 | ||
1.一种激光器焦距的检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、在激光器发出的激光束的辐射范围内将激光接收器移动至X方向和Y方向接收到的光强度信号的峰值位置A；其中，X方向和Y方向为平面方向；
S2、将所述激光接收器偏离A位置后沿Z方向进行移动，将所述激光接收器接收到的信号从光强度信号变为噪声信号时的位置标记为B1，将所述激光接收器接收到的信号从噪声信号变为光强度信号时的位置标记为B2；其中，Z方向垂直于平面方向；
S3、B1位置与B2位置的中间位置处与所述激光器的光学镜头之间的距离为所述激光器的焦距。
2.根据权利要求1所述的激光器焦距的检测方法，其特征在于，通过光栅尺标记所述激光接收器的B1位置与B2位置，测量B1位置与B2位置之间的距离。
3.根据权利要求1所述的激光器焦距的检测方法，其特征在于，将所述激光接收器固定在三维运动机构上，通过所述三维运动机构带动所述激光接收器沿X方向、Y方向和Z方向移动。
4.根据权利要求3所述的激光器焦距的检测方法，其特征在于，在所述三维运动机构上刻有标尺，通过标尺测量B1位置与B2位置之间的距离。
5.根据权利要求1所述的激光器焦距的检测方法，其特征在于，步骤S1具体包括如下步骤：
S110：带动所述激光接收器沿X方向移动，移动至X方向接收到的光强度的峰值点；
S120：带动所述激光接收器沿Y方向移动，移动至Y方向接收到的光强度的峰值点。
6.根据权利要求1所述的激光器焦距的检测方法，其特征在于，步骤S1具体包括如下步骤：
S110：带动所述激光接收器沿Y方向移动，移动至Y方向接收到的光强度的峰值点；
S120：带动所述激光接收器沿X方向移动，移动至X方向接收到的光强度的峰值点。
7.根据权利要求1所述的激光器焦距的检测方法，其特征在于，所述激光接收器为光功率计或光电探测器。
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