[发明专利]非规则碲锌镉晶片的抛光方法

说明书

本发明公开了一种非规则碲锌镉晶片的抛光方法。抛光方法基于抛光设备实现，抛光设备包括：相对且间隔设置的上抛光盘和下抛光盘；至少一个游轮片，位于上抛光盘与下抛光盘之间，每个游轮片设有多个通孔，每个通孔适于容纳一个非规则碲锌镉晶片；驱动装置，用于控制游轮片运动；调节装置，用于调节上、下抛光盘对非规则碲锌镉晶片的压力；抛光方法包括：在上抛光盘朝向下抛光盘的一侧固定上抛光布，在下抛光盘朝向上抛光盘的一侧固定下抛光布；将经过研磨工艺后的多个待抛光非规则碲锌镉晶片依次放置于游轮片的通孔内；在上、下抛光布上喷洒抛光液，并设定调节装置的相关参数，启动驱动装置，以实现多片晶片上下表面同时抛光。

技术领域

本发明涉及碲锌镉抛光技术领域，尤其涉及一种非规则碲锌镉晶片的抛光方法。

背景技术

碲锌镉是一种极具工程意义和战略意义的化合物半导体材料，具有优异的光电性能，被广泛用作碲镉汞红外探测器的衬底材料和室温核辐射探测器等。碲锌镉(CdZnTe)衬底是液相外延碲镉汞(HgCdTe)薄膜的最佳衬底材料。高质量的碲锌镉晶片表面加工对于器件性能有着格外的重要性。碲锌镉衬底材料是将生长完成的碲锌镉晶体经过切割、倒角、研磨、抛光、清洗等工序制备而成，研磨工艺会给衬底表面引入一定的损伤层，需要再进行抛光工艺来去除衬底表面的损伤层，同时优化衬底平整度、表面粗糙度等指标，因此抛光工艺是影响衬底材料质量的主要工艺之一。

由于碲锌镉晶片作为衬底的使用要求，两面都需要进行抛光。相关技术中，碲锌镉晶片为单片单面式抛光加工，在加工前需要进行粘片，工艺过程繁琐，效率低下，加工后的晶片平整度较差，片与片间的一致性也较差。

发明内容

本发明实施例提供一种非规则碲锌镉晶片的抛光方法，用以解决现有技术中碲锌镉晶片抛光效率低的问题。

根据本发明实施例的非规则碲锌镉晶片的抛光方法，所述抛光方法基于抛光设备实现，所述抛光设备包括：

上抛光盘；

下抛光盘，与所述上抛光盘相对且间隔设置；

至少一个游轮片，位于所述上抛光盘与所述下抛光盘之间，每个所述游轮片设有多个通孔，每个所述通孔适于容纳一个非规则碲锌镉晶片；

驱动装置，用于驱动所述游轮片在所述上抛光盘与所述下抛光盘之间运动并控制所述游轮片的运动速率；

调节装置，用于调节所述上抛光盘与所述下抛光盘对所述非规则碲锌镉晶片的压力；

所述抛光方法包括：

在所述上抛光盘朝向所述下抛光盘的一侧固定上抛光布，在所述下抛光盘朝向所述上抛光盘的一侧固定下抛光布；

将经过研磨工艺后的多个待抛光非规则碲锌镉晶片依次放置于所述游轮片的通孔内；

在所述上抛光布和所述下抛光布上喷洒抛光液，并设定所述调节装置的相关参数，启动所述驱动装置。

根据本发明的一些实施例，所述上抛光布与所述下抛光布均为带有绒毛的软性机械抛光布。

根据本发明的一些实施例，所述上抛光盘与所述下抛光盘均为不锈钢件。

根据本发明的一些实施例，所述游轮片为PVC材质件。

根据本发明的一些实施例，所述抛光液包括金刚石颗粒。

根据本发明的一些实施例，所述在所述上抛光盘朝向所述下抛光盘的一侧固定上抛光布，在所述下抛光盘朝向所述上抛光盘的一侧固定下抛光布包括：

利用双滚轴工装将所述上抛光布固定至所述上抛光盘朝向所述下抛光盘的一侧；

利用双滚轴工装将所述下抛光布固定至所述下抛光盘朝向所述上抛光盘的一侧。