[发明专利]非规则碲锌镉晶片的抛光方法有效
| 申请号： | 202011190271.X | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112372377B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 侯晓敏;李振兴;刘江高;张瑛侠;吴卿;刘铭;折伟林 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B29/02 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 罗丹 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 规则 碲锌镉 晶片 抛光 方法 | ||
1.一种非规则碲锌镉晶片的抛光方法，其特征在于，所述抛光方法基于抛光设备实现，所述抛光设备包括：
上抛光盘；
下抛光盘，与所述上抛光盘相对且间隔设置；
至少一个游轮片，位于所述上抛光盘与所述下抛光盘之间，每个所述游轮片设有多个通孔，每个所述通孔适于容纳一个非规则碲锌镉晶片；
驱动装置，用于驱动所述游轮片在所述上抛光盘与所述下抛光盘之间运动并控制所述游轮片的运动速率；
调节装置，用于调节所述上抛光盘与所述下抛光盘对所述非规则碲锌镉晶片的压力；
所述游轮片为PVC材质件；
所述抛光方法包括：
利用双滚轴工装将上抛光布固定至所述上抛光盘朝向所述下抛光盘的一侧；
利用双滚轴工装将下抛光布固定至所述下抛光盘朝向所述上抛光盘的一侧；所述上抛光布与所述下抛光布均为带有绒毛的软性机械抛光布；
将经过研磨工艺后的多个待抛光非规则碲锌镉晶片依次放置于所述游轮片的通孔内；
在所述上抛光布和所述下抛光布上喷洒第一粒径的抛光液，并设定所述调节装置的相关参数，启动所述驱动装置；
在所述上抛光布和所述下抛光布上喷洒第二粒径的抛光液，并设定所述调节装置的相关参数，启动所述驱动装置；
所述抛光液包括金刚石颗粒；
所述第二粒径与所述第一粒径不同；
在启动所述驱动装置后，调节所述抛光液的溢出量。
2.如权利要求1所述的非规则碲锌镉晶片的抛光方法，其特征在于，所述上抛光盘与所述下抛光盘均为不锈钢件。
3.如权利要求1所述的非规则碲锌镉晶片的抛光方法，其特征在于，所述在所述上抛光布和所述下抛光布上喷洒抛光液，并设定所述调节装置的相关参数，启动所述驱动装置，包括：
在所述上抛光布和所述下抛光布上喷洒第一粒径的抛光液，并设定所述调节装置的相关参数，启动所述驱动装置；
更换所述上抛光盘上的上抛光布以及所述下抛光盘上的下抛光布；
在更换后的上抛光布和下抛光布上喷洒第二粒径的抛光液，并设定所述调节装置的相关参数，启动所述驱动装置；
所述第二粒径与所述第一粒径不同。
4.如权利要求1所述的非规则碲锌镉晶片的抛光方法，其特征在于，所述设定所述调节装置的相关参数，包括：
按照30-120g/㎝2的单位压力，控制所述上抛光盘与所述下抛光盘对所述非规则碲锌镉晶片的压力。
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