[发明专利]图像取得系统以及图像取得方法

权利要求书

1.一种图像取得系统，具有信号处理部，取得包含磁性体的样品的图像，所述图像取得系统的特征在于，

所述信号处理部执行以下处理：

使用成为基准的基准外部磁场，照射光来取得成为基准的所述样品的基准磁畴图像，

在使外部磁场在变化的同时进行施加的状态下取得多个磁畴图像，

取得从多个所述磁畴图像分别扣除所述基准磁畴图像的多个扣除图像，

从多个所述扣除图像分别提取磁畴翻转的磁畴翻转区域，

通过将分别具有所述磁畴翻转区域的多个所述扣除图像合成，来取得具有多个所述磁畴翻转区域的合成图像。

2.根据权利要求1所述的图像取得系统，其特征在于，

所述信号处理部执行以下处理：

分别算出多个所述磁畴翻转区域的应变量，

在所述合成图像中，通过将所述磁畴翻转区域和所述应变量建立对应，来取得应变分布图像。

3.根据权利要求2所述的图像取得系统，其特征在于，

所述信号处理部执行以下处理：

至少提取以第1磁场翻转的第1磁畴翻转区域、以比所述第1磁场高的第2磁场翻转的第2磁畴翻转区域和以比所述第2磁场高的第3磁场翻转的第3磁畴翻转区域，作为多个所述磁畴翻转区域，

作为多个所述磁畴翻转区域的应变量，至少算出第1应变量、比所述第1应变量大的第2应变量和比所述第2应变量大的第3应变量，

将所述第1磁畴翻转区域和所述第1应变量建立对应，

将所述第2磁畴翻转区域和所述第2应变量建立对应，

将所述第3磁畴翻转区域和所述第3应变量建立对应。

4.根据权利要求1所述的图像取得系统，其特征在于，

所述信号处理部执行以下处理：

在不施加外部磁场作为所述基准外部磁场的无磁场的状态下，取得所述基准磁畴图像。

5.根据权利要求2所述的图像取得系统，其特征在于，

所述信号处理部执行以下处理：

在给定的视野中，在无磁场的状态下取得所述样品的表面形状的形状图像，

在所述给定的视野中，取得所述基准磁畴图像和多个所述磁畴图像。

6.根据权利要求5所述的图像取得系统，其特征在于，

所述图像取得系统还具有：

存储给定的信息的存储部；和

显示给定的图像的图像显示终端，

所述存储部存储所述形状图像、所述磁畴图像、所述扣除图像和所述应变分布图像，

所述图像显示终端将存储于所述存储部的所述形状图像、所述磁畴图像、所述扣除图像和所述应变分布图像汇总进行显示。

7.根据权利要求1所述的图像取得系统，其特征在于，

所述信号处理部执行以下处理：

使用Kerr显微镜、磁力显微镜以及扫描电子显微镜中的任一者，照射所述光来取得所述基准磁畴图像。

8.根据权利要求5所述的图像取得系统，其特征在于，

所述信号处理部执行以下处理：

使用光学显微镜来取得所述形状图像。

9.根据权利要求1所述的图像取得系统，其特征在于，

所述图像取得系统还具有：

具备将所述样品固定而能移动的样品台的样品固定器；和

能施加所述外部磁场的电磁线圈。

10.根据权利要求1所述的图像取得系统，其特征在于，

所述图像取得系统还具有：

至少显示所述样品的晶界图像的图像显示终端。