[发明专利]振动器件

说明书

振动器件。具有优异的检测特性。振动器件具有振动元件、支承振动元件的支承基板、以及配置于支承基板的多个布线。此外，支承基板具有搭载有振动元件的元件搭载台、位于元件搭载台的外侧的支承台、位于元件搭载台与支承台之间的框、具有连接元件搭载台和框的一对第1梁的内侧梁、以及具有连接框和支承台的一对第2梁的外侧梁。此外，在多个布线中包含有引绕于元件搭载台和支承台的驱动信号布线和检测信号布线，驱动信号布线和检测信号布线通过相互不同的内侧梁而引绕于元件搭载台和框，通过相互不同的外侧梁而引绕于框和支承台。

技术领域

本发明涉及振动器件。

背景技术

专利文献1所记载的振动器件具有电路元件、振动元件以及介于电路元件与振动元件之间且将振动元件固定于电路元件的中继基板。此外，中继基板呈平衡架(gimbal)构造，具有固定于电路元件的框状的固定部、配置于固定部的内侧的框状的框体部、配置于框体部的内侧且固定有振动元件的载置部、连接固定部和框体部的第1梁部、以及连接框体部和载置部的第2梁部。通过这种中继基板抑制从电路元件朝向振动元件传递应力。

专利文献1：日本特开2018-159674号公报

发明内容

发明要解决的课题

此外，在专利文献1所记载的振动器件中，在载置部配置有与振动元件电连接的6个振动元件侧端子，在固定部配置有与电路元件电连接的6个电路元件侧端子，对应的振动元件侧端子和电路元件侧端子通过第1梁部、框体部和第2梁部上引绕的布线而电连接。

但是，在专利文献1所记载的振动器件中，多个布线中包含的驱动信号用布线和检测信号用布线在1个梁部上接近地配置。因此，在该部分中，在检测信号用布线中可能混入对驱动信号用布线施加的驱动信号的影响而引起的噪声，检测精度降低。

用于解决课题的手段

本发明的一个方式是一种振动器件，其特征在于，所述振动器件具有：振动元件；支承基板，其支承所述振动元件；以及多个布线，它们配置于所述支承基板，所述振动元件具有：驱动臂，其具有驱动信号电极，通过对所述驱动信号电极施加驱动信号而进行驱动振动；以及检测臂，其具有检测信号电极，通过接受作为检测对象的物理量进行检测振动，从所述检测信号电极输出检测信号，在从所述支承基板的厚度方向的俯视观察时，所述支承基板具有：元件搭载台，其搭载有所述振动元件；支承台，其位于所述元件搭载台的外侧；框，其位于所述元件搭载台与所述支承台之间，呈包围所述元件搭载台的框状；内侧梁，其具有从所述元件搭载台沿着第1方向向两侧延伸、且连接所述元件搭载台和所述框的一对第1梁；以及外侧梁，其具有从所述框沿着与所述第1方向不同的第2方向向两侧延伸、且连接所述框和所述支承台的一对第2梁，所述多个布线具有：驱动信号布线，其与所述驱动信号电极电连接，引绕于所述元件搭载台和所述支承台；以及检测信号布线，其与所述检测信号电极电连接，引绕于所述元件搭载台和所述支承台，所述驱动信号布线和所述检测信号布线通过相互不同的所述内侧梁而引绕于所述元件搭载台和所述框，通过相互不同的所述外侧梁而引绕于所述框和所述支承台。

在本发明的一个方式中，优选所述外侧梁具有从所述框延伸且连接所述框和所述支承台的第3梁，所述驱动信号布线和所述检测信号布线中的一方通过所述第3梁而引绕于所述框和所述支承台。

在本发明的一个方式中，优选所述外侧梁具有从所述框向所述框的两侧延伸的一对第3梁，所述驱动信号布线和所述检测信号布线通过相互不同的所述第3梁而引绕于所述框和所述支承台。

在本发明的一个方式中，优选在所述俯视观察时，所述第3梁在所述第1方向上延伸，与所述第1梁位于同一直线上。

在本发明的一个方式中，优选通过所述第3梁的所述布线为2根以下。