[发明专利]振动器件

权利要求书

1.一种振动器件，其特征在于，所述振动器件具有：

振动元件；

支承基板，其支承所述振动元件；以及

多个布线，它们配置于所述支承基板，

所述振动元件具有：

驱动臂，其具有驱动信号电极，通过对所述驱动信号电极施加驱动信号而进行驱动振动；以及

检测臂，其具有检测信号电极，通过接受作为检测对象的物理量进行检测振动，从所述检测信号电极输出检测信号，

在从所述支承基板的厚度方向的俯视观察时，所述支承基板具有：

元件搭载台，其搭载有所述振动元件；

支承台，其位于所述元件搭载台的外侧；

框，其位于所述元件搭载台与所述支承台之间，呈包围所述元件搭载台的框状；

内侧梁，其具有从所述元件搭载台沿着第1方向向两侧延伸、且连接所述元件搭载台和所述框的一对第1梁；以及

外侧梁，其具有从所述框沿着与所述第1方向不同的第2方向向两侧延伸、且连接所述框和所述支承台的一对第2梁，

所述多个布线具有：

驱动信号布线，其与所述驱动信号电极电连接，引绕于所述元件搭载台和所述支承台；以及

检测信号布线，其与所述检测信号电极电连接，引绕于所述元件搭载台和所述支承台，

所述驱动信号布线和所述检测信号布线通过相互不同的所述内侧梁而引绕于所述元件搭载台和所述框，通过相互不同的所述外侧梁而引绕于所述框和所述支承台。

2.根据权利要求1所述的振动器件，其中，

所述外侧梁具有从所述框延伸且连接所述框和所述支承台的第3梁，

所述驱动信号布线和所述检测信号布线中的一方通过所述第3梁而引绕于所述框和所述支承台。

3.根据权利要求1所述的振动器件，其中，

所述外侧梁具有从所述框向所述框的两侧延伸的一对第3梁，

所述驱动信号布线和所述检测信号布线通过相互不同的所述第3梁而引绕于所述框和所述支承台。

4.根据权利要求2或3所述的振动器件，其中，

在所述俯视观察时，所述第3梁在所述第1方向上延伸，与所述第1梁位于同一直线上。

5.根据权利要求2所述的振动器件，其中，

通过所述第3梁的所述布线为2根以下。

6.根据权利要求1所述的振动器件，其中，

在设相互正交的3个轴为A轴、B轴和C轴时，

所述支承基板的厚度方向沿着所述C轴，

所述振动元件具有：

基台，其固定于所述元件搭载台；

一对所述检测臂，它们从所述基台沿着所述B轴朝向两侧延伸；

一对连结臂，它们从所述基台沿着所述A轴朝向两侧延伸；

一对所述驱动臂，它们从一个所述连结臂的末端沿着所述B轴朝向两侧延伸；以及

一对所述驱动臂，它们从另一个所述连结臂的末端沿着所述B轴朝向两侧延伸。

7.根据权利要求6所述的振动器件，其中，

所述第1方向是沿着所述A轴的方向，

所述第2方向是沿着所述B轴的方向。