[发明专利]一种半导体切筋成型设备有效
| 申请号: | 202011174263.6 | 申请日: | 2020-10-28 |
| 公开(公告)号: | CN112547990B | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
| 发明(设计)人: | 李宏伟;林志东 | 申请(专利权)人: | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号: | B21F11/00 | 分类号: | B21F11/00;B21C51/00;H01L21/67 |
| 代理公司: | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人: | 连耀忠;杨锴 |
| 地址: | 361000 福建省厦门*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 成型 设备 | ||
本发明涉及一种半导体切筋成型设备,设置独立的检测刀具,参照切筋刀具的切断动作进行检测动作,通过发现引线框架连体切断异常,实时判断切筋刀具是否存在如断刀等异常。本发明能够提前发现产品质量问题,并能够及时排查,避免出现批次性的产品质量问题,可大大降低生产成本;并且,避免当产品出现问题后,需要从冲压到检测产品的过程中的环节进行异常排查,造成的耗时过长,时效性差,影响生效率等问题。本发明的检测刀具与切筋刀具对应设计,在结构上相近似,并且将检测刀具与切筋刀具设置于同一个切筋模具上,更换不同的切筋模具即可用于制备不同的产品,并且实现对相应的切筋刀具进行检测。
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,更具体地说,涉及一种半导体切筋成型设备。
背景技术
集成电路封装形式多样,制程工艺也是大相径庭,但是成品切割制程是绝大部分形式不可或缺的关键制程,其是将最终成品分离出来。切割制程的工艺通常包括冲压工艺和轮刀切割;其中,冲压工艺的关键是需要具备稳定可靠的切筋模具,使得成品冲压时所受应力平衡,外观良好。切筋模具属精密加工件,其由多个部件+刀具配合运作进行作业,常规的切筋模具通常防误检测功能,以保证能够顺利准确地进行切筋。
但现有技术中,切筋模具或者切筋成型设备无法监控切筋模具的刀具是否存在异常损坏的问题,特别是实时检测是否存在因刀具损坏而造成的成品质量不良。一旦出现此类异常情况,通常难以及时发现与管控,不能及时准确地排查异常,造成批次性的产品质量问题。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的不足,提供一种半导体切筋成型设备,能够实时地检测并发现切筋刀具是否存在异常,有利于及时准确地排查异常,防止出现批次性的产品质量问题。
本发明的技术方案如下:
一种半导体切筋成型设备,包括控制机组、切筋模具,切筋模具包括切筋刀具,控制机组控制切筋刀具对引线框架进行切筋,切筋模具还包括检测刀具,检测刀具的检测刀齿与切筋刀具的切断刀齿对应设置;工作过程中,切筋刀具与检测刀具先后在相同位置沿切断方向进行动作,当检测刀具动作过程中,遇阻触发故障信号,则判定切筋刀具异常。
作为优选,检测刀具的检测刀齿与切筋刀具的全部切断刀齿一一对应设置;或者,检测刀具的检测刀齿与切筋刀具的部分切断刀齿对应设置。
作为优选,检测刀具还包括flash除胶刀齿。
作为优选,检测刀齿的端部为圆锥,flash除胶刀齿的端部为棱锥。
作为优选,检测刀齿的长度不小于引线框架的厚度。
作为优选,检测刀齿的厚度与宽度小于切断位置的尺寸。
作为优选,切筋模具还包括固定座、顶针、传感装置,检测刀具的一端与顶针对应设置,传感装置固定设置于固定座,顶针沿切断方向活动设置于固定座,传感装置与顶针的位置相适配;检测刀具沿切断方向活动穿设于固定座,检测刀具的一端挂装于固定座内,与顶针对应设置;设置检测刀齿的一端穿设出固定座;固定座沿切断方向下降时,检测刀具与顶针跟随下降,当检测刀具遇阻后,顶针触发传感装置,进而触发故障信号。
作为优选,传感装置包括相对设置的光发射器与光接收器,当顶针位于光发射器与光接收器之间光路上时,传感装置形成反馈信号,通过反馈信号触发故障信号。
作为优选,切筋模具还包括固定座、传感装置,传感装置固定设置于固定座;检测刀具沿切断方向活动穿设于固定座,检测刀具的一端挂装于固定座内,与传感装置对应设置;设置检测刀齿的一端穿设出固定座;固定座沿切断方向下降时,检测刀具跟随下降,当检测刀具遇阻后,触发传感装置,进而触发故障信号。
作为优选,传感装置为压力传感器,当检测刀具挤压压力传感器,压力传感器形成反馈信号,通过反馈信号触发故障信号。
本发明的有益效果如下:
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