[发明专利]缓进给磨削方法和磨削装置

说明书

本发明提供缓进给磨削方法和磨削装置。缓进给磨削方法具有如下的步骤：试磨削工序，使用磨削磨具(340)对被加工物(W)进行试磨削；厚度测量工序，使用厚度测量单元(7)分别测量试磨削后的被加工物(W)的一端侧的厚度(T1)和另一端侧的厚度(T2)；厚度差计算工序，使用厚度差计算单元(8)用另一端侧的厚度(T2)减去一端侧的厚度(T1)而计算厚度的差(D)；保持面倾斜工序，根据所计算的厚度的差(D)，使用倾斜调整机构(6)使卡盘工作台(2)的框体(21)的一端(211)向‑Z方向下降而使保持面(20a)倾斜；以及磨削工序，在使保持面(20a)倾斜之后，使用磨削磨具对新的被加工物(W)进行磨削。

技术领域

本发明涉及缓进给磨削方法和磨削装置。

背景技术

在缓进给磨削中，将磨削磨具的下表面定位于比卡盘工作台的保持面所保持的被加工物的上表面靠下的高度，使磨削磨具和卡盘工作台在水平的Y轴方向上相对地移动，从而使磨削磨具从被加工物的上表面的一端侧移动至另一端侧而对被加工物进行磨削，在该缓进给磨削中，由于磨削磨具的消耗，在一端侧的被加工物的厚度与另一端侧的被加工物的厚度之间产生厚度的差。

因此，如专利文献1所公开的那样，预先把握与Y轴方向的位置的关系中的磨削磨具的消耗量，一边使被加工物相对于磨削磨具在Y轴方向上移动，一边按照磨削磨具的消耗量使磨削磨具下降，从而缩小产生于被加工物的厚度的差。

专利文献1：日本特开2016-002598号公报

但是，在上述磨削中，一边使被加工物和磨削磨具在Y轴方向上相对地移动，一边根据Y轴方向的位置而使磨削磨具下降，因此需要对磨削磨具相对于被加工物在Y轴和Z轴这两个轴的方向上的相对移动进行控制的控制单元，存在控制困难的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供缓进给磨削方法和磨削装置，无需进行在磨削中改变磨削磨具的高度位置这样困难的控制。

本发明提供缓进给磨削方法，使保持面所保持的被加工物和旋转的磨削磨具在与该保持面平行的Y轴方向上相对地移动，使用该磨削磨具从被加工物的一端侧朝向另一端侧对被加工物的上表面进行磨削，其中，该缓进给磨削方法包含如下的工序：试磨削工序，将该磨削磨具的下表面定位于比该保持面所保持的被加工物的上表面靠下方规定的距离的位置，使被加工物和该磨削磨具在该Y轴方向上相对地移动，对被加工物的上表面进行磨削；厚度测量工序，使该保持面所保持的通过该试磨削工序而被磨削的被加工物在该Y轴方向上移动，使用厚度测量单元对被加工物的该Y轴方向上的至少一端和另一端的厚度进行测量；厚度差计算工序，计算通过该厚度测量工序而测量的被加工物的一端侧的厚度与被加工物的另一端侧的厚度的厚度差；保持面倾斜工序，使通过该厚度测量工序而测量的被加工物的厚度小的一端侧向远离该磨削磨具的下表面的下方按照该厚度差的量移动而使该保持面倾斜；以及磨削工序，将该磨削磨具的下表面定位于比通过该保持面倾斜工序而倾斜的该保持面所新保持的被加工物的一端侧的上表面靠下方规定的距离的位置，使被加工物和该磨削磨具在该Y轴方向上相对地移动而对被加工物的上表面进行磨削。

优选该试磨削工序对该保持面所保持的被加工物实施多次磨削。