[发明专利]缓进给磨削方法和磨削装置

权利要求书

1.一种缓进给磨削方法，使保持面所保持的被加工物和旋转的磨削磨具在与该保持面平行的Y轴方向上相对地移动，使用该磨削磨具从被加工物的一端侧朝向另一端侧对被加工物的上表面进行磨削，其中，

该缓进给磨削方法包含如下的工序：

试磨削工序，将该磨削磨具的下表面定位于比该保持面所保持的被加工物的上表面靠下方规定的距离的位置，使被加工物和该磨削磨具在该Y轴方向上相对地移动，对被加工物的上表面进行磨削；

厚度测量工序，使该保持面所保持的通过该试磨削工序而被磨削的被加工物在该Y轴方向上移动，使用厚度测量单元对被加工物的该Y轴方向上的至少一端和另一端的厚度进行测量；

厚度差计算工序，计算通过该厚度测量工序而测量的被加工物的一端侧的厚度与被加工物的另一端侧的厚度的厚度差；

保持面倾斜工序，使通过该厚度测量工序而测量的被加工物的厚度小的一端侧向远离该磨削磨具的下表面的下方按照该厚度差的量移动而使该保持面倾斜；以及

磨削工序，将该磨削磨具的下表面定位于比通过该保持面倾斜工序而倾斜的该保持面所新保持的被加工物的一端侧的上表面靠下方规定的距离的位置，使被加工物和该磨削磨具在该Y轴方向上相对地移动而对被加工物的上表面进行磨削。

2.根据权利要求1所述的缓进给磨削方法，其中，

该试磨削工序对该保持面所保持的被加工物实施多次磨削。

3.一种磨削装置，其具有：

卡盘工作台，其在保持面上保持被加工物；

磨削单元，其以在基台上呈环状配置有磨削磨具的磨削磨轮的中心为轴而使该磨削磨轮旋转，对被加工物进行磨削；

水平移动单元，其使该卡盘工作台和该磨削单元在与该保持面平行的Y轴方向上相对地移动；以及

垂直移动单元，其使该磨削单元在与该保持面垂直的Z轴方向上移动，

该磨削装置使用该磨削磨具从被加工物的一端侧朝向另一端侧对被加工物的上表面进行缓进给磨削，其中，

该磨削装置具有：

厚度测量单元，其对该保持面所保持的被加工物的厚度进行测量；

厚度差计算单元，其计算该厚度测量单元所测量的该被加工物的该一端侧的厚度与该另一端侧的厚度的厚度差；

倾斜调整机构，其对该保持面的该Y轴方向上的倾斜进行调整；以及

控制单元，其对该倾斜调整机构进行控制而使该保持面倾斜，以使该一端侧或该另一端侧中的由该厚度测量单元测量的该被加工物的厚度小的那一侧向远离该磨削磨具的下表面的下方按照该厚度差的量移动。