[发明专利]半导体器件内引线键合强度测试装置及其检测方法

权利要求书

1.一种半导体器件内引线键合强度测试装置，其特征在于，包括：机架(1)、水平输送机构(2)、支撑架(3)以及拉拔检测机构(4)，水平输送机构(2)设置在机架(1)上，水平输送机构(2)用于水平输送待检测的引线框架(5)；支撑架(3)竖向固定设置在机架(1)上，并且支撑架(3)与水平输送机构(2)相邻设置；拉拔检测机构(4)设置在支撑架(3)靠近水平输送机构(2)一侧处，并且拉拔检测机构(4)处于水平输送机构(2)的上方。

2.根据权利要求1所述的半导体器件内引线键合强度测试装置，其特征在于，所述拉拔检测机构(4)包括：安装块(41)、拉拔钩件(42)、运动转换组件(44)、第一驱动件(43)、限位组件(45)以及弹性复位件(46)，安装块(41)转动设置在支撑架(3)靠近水平输送机构(2)一侧处；拉拔钩件(42)转动设置在安装块(41)上，拉拔钩件(42)远离安装块(41)一端延伸至水平输送机构(2)的上方，拉拔钩件(42)用于钩住引线框架(5)上的引线；运动转换组件(44)活动设置在安装块(41)与第一驱动件(43)之间；第一驱动件(43)固定设置在所述支撑架(3)上，第一驱动件(43)用于通过运动转换组件(44)分别驱动安装块(41)在水平面上左右摆动以及驱动拉拔钩件(42)在竖直面上上下转动；限位组件(45)设置在支撑架(3)上，限位组件(45)用于限制安装块(41)转动；弹性复位件(46)一端与支撑架(3)固定连接，另一端与安装块(41)固定连接，弹性复位件(46)用于拉动安装块(41)转动回到初始位置处。

3.根据权利要求2所述的半导体器件内引线键合强度测试装置，其特征在于，所述运动转换组件(44)包括：U形件(441)、第一斜面块(442)以及第二斜面块(443)，U形件(441)滑动设置在所述支撑架(3)上，并且U形件(441)的开口朝向远离所述第一驱动件(43)的方向，U形件(441)靠近自身开口处的一端与第一斜面块(442)远离自身斜面的一端固定连接，U形件(441)靠近自身开口的另一端端部与安装块(41)靠近第一驱动件(43)一侧表面相对且间隔设置，第一驱动件(43)驱动U形件(441)在水平方向上滑动，以分别顶动第一斜面块(442)在水平方向上滑动以及顶动安装块(41)在水平面上左右摆动；第一斜面块(442)上的斜面与第二斜面块(443)上的斜面相互抵接，并且第一斜面块(442)上的斜面处于第二斜面块(443)上斜面的下方；第二斜面块(443)远离自身斜面的一端与拉拔钩件(42)靠近第一驱动件(43)一端固定连接。

4.根据权利要求3所述的半导体器件内引线键合强度测试装置，其特征在于：所述第一斜面块(442)上还设置有第一延时平面(4421)，第一延时平面(4421)一端与第一斜面块(442)上的斜面连接，另一端向靠近所述第一驱动件(43)的方向延伸；第二斜面块(443)上还设置有第二延时平面(4431)，第二延时平面(4431)一端与第二斜面块(443)的上的斜面连接，另一端向远离所述第一驱动件(43)的方向延伸，在所述拉拔钩件(42)钩住引线后，第一延时平面(4421)与第二延时平面(4431)上下相互抵接。

5.根据权利要求3所述的半导体器件内引线键合强度测试装置，其特征在于：所述拉拔钩件(42)包括转动杆(422)以及竖向弯钩(423)，转动杆(422)一端与第二斜面块(443)固定连接，转动杆(422)另一端与竖向弯钩(423)的上端固定连接，转动杆(422)与所述安装块(41)转动连接，在转动杆(422)靠近第二斜面块(443)一端向上运动时，转动杆(422)靠近竖向弯钩(423)一端向下运动；竖向弯钩(423)下端弯折形成弯钩，以钩住引线。

6.根据权利要求5所述的半导体器件内引线键合强度测试装置，其特征在于：所述拉拔检测机构(4)设置有两组，两组拉拔检测机构(4)沿待检测引线框架(5)的运动方向呈直线排布。

7.根据权利要求6所述的半导体器件内引线键合强度测试装置，其特征在于：两组拉拔检测机构(4)中的两个竖向弯钩(423)分别朝相互靠近的方向弯折。