[发明专利]OLED显示面板制备方法和OLED显示面板有效
申请号: | 202011141214.2 | 申请日: | 2020-10-22 |
公开(公告)号: | CN112310332B | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | 徐乾坤;张晓星;张良芬 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L21/77;H01L27/32;H01L51/52 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 何辉 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | oled 显示 面板 制备 方法 | ||
本发明实施例提供的OLED显示面板制备方法包括:在形成阻挡层之前,制备一有机膜层作为牺牲层,图案化处理牺牲层制备得到作为挡墙成型区的第一沟槽,然后在所述牺牲层表面形成一阻挡层材料,所述阻挡层材料填充所述第一沟槽,再利用掩膜板图案化处理阻挡层制备得到高/窄的挡墙结构,同时利用湿法刻蚀工艺去除第一沟槽;通过在形成阻挡层之前形成牺牲层,形成的挡墙结构的厚度等于牺牲层的厚度加上阻挡层的厚度。
技术领域
本发明涉及OLED显示技术领域,尤其涉及一种OLED显示面板制备方法和一种OLED显示面板。
背景技术
现有的OLED显示面板制备工艺中,在形成像素定义层后,会形成一阻挡层,所述阻挡层包括多个挡墙结构,由于形成和曝光等工艺的限制,所述阻挡层的厚度难以超过3微米,而在发光层的制备中,往往需要至少4微米的挡墙结构来阻挡量子点墨水的扩散,因此,现有OLED显示面板制备方法存在难以形成高/窄的挡墙结构的技术问题。
发明内容
本发明实施例提供一种OLED显示面板制备方法和一种OLED显示面板,可缓解现有OLED显示面板制备方法存在难以形成高/窄的挡墙结构的技术问题。
本发明实施例提供一种OLED显示面板制备方法,包括:
提供一衬底基板,在所述衬底基板上形成有阵列层、像素定义层;
在所述像素定义层上,制备一有机膜层,将所述有机膜层作为牺牲层;
对所述牺牲层进行图案化处理,制备得到作为挡墙成型区的第一沟槽;
在所述牺牲层表面形成一层阻挡层材料,所述阻挡层材料填充在所述第一沟槽内,位于牺牲层表面的阻挡层材料高于所述牺牲层的高度;
利用掩膜板对所述阻挡层进行图案化处理,制备得到挡墙结构。
在本发明实施例提供的OLED显示面板制备方法中,在形成牺牲层的步骤中,还包括:在所述像素定义层上,制备一层聚酰亚胺材料,形成一聚酰亚胺层,将所述聚酰亚胺层作为牺牲层。
在本发明实施例提供的OLED显示面板制备方法中,在形成牺牲层的步骤中,还包括:形成的所述聚酰亚胺层厚度范围为2微米至3微米。
在本发明实施例提供的OLED显示面板制备方法中,在形成一阻挡层的步骤中,还包括:形成的所述阻挡层的厚度范围为2微米至3微米。
在本发明实施例提供的OLED显示面板制备方法中,在形成高/窄的挡墙结构的步骤中,还包括:在所述阻挡层上形成显影液,再对所述阻挡层进行图案化处理,去除掉挡墙结构以外区域的阻挡层。
在本发明实施例提供的OLED显示面板制备方法中,在形成高/窄的挡墙结构的步骤中,还包括:形成所述挡墙结构的厚度范围为4微米至6微米。
在本发明实施例提供的OLED显示面板制备方法中,在形成高/窄的挡墙结构的步骤中,还包括:形成所述挡墙结构的宽度范围为9微米至11微米。
在本发明实施例提供的OLED显示面板制备方法中,在形成所述牺牲层之后的步骤中,还包括;在所述牺牲层上制备一有机膜层,所述有机膜层作为补偿层,所述补偿层的厚度范围为2微米至3微米。
在本发明实施例提供的OLED显示面板制备方法中,在形成所述补偿层的步骤中,还包括:所述第二沟槽的制备材料与所述第一沟槽的制备材料相同,对所述补偿层利用图案化处理制备出第二沟槽。
本发明实施例提供一种OLED显示面板,包括:衬底基板、阵列层、像素定义层、挡墙结构、发光功能层、封装层;其中,所述挡墙结构设置在所述像素定义层上,所述挡墙结构用于阻挡量子点墨水的扩散,所述挡墙结构的厚度范围为4微米至6微米。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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