[发明专利]一种半导体引线框架抓取机构、转移装置有效
申请号: | 202011134998.6 | 申请日: | 2020-10-22 |
公开(公告)号: | CN112018022B | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 曾尚文;陈久元;杨利明;李洪贞 | 申请(专利权)人: | 四川晶辉半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/677 |
代理公司: | 成都诚中致达专利代理有限公司 51280 | 代理人: | 曹宇杰 |
地址: | 629200 四川省遂*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 引线 框架 抓取 机构 转移 装置 | ||
一种半导体引线框架抓取机构,包括:壳体,其顶面沿长度方向阵列有两排键型孔,键型孔内穿均设竖杆;第一行程机构,设于壳体内,与竖杆底端连接,用于驱动竖杆沿键型孔长度方向移动;转动杆,其一端转动设于竖杆顶端,另一端竖向连接气动吸头组件,气动吸头组件用于在于引线框架接触时对引线框架进行吸附;以及第二行程机构,设于壳体顶面,用于作用于转动杆连接竖杆的一端以驱动转动杆转动。一种半导体引线框架转移装置,包括抓取机构以及旋转机构、升降机构。通过气动方式作用于引线框架两侧本体以实现拾取/抓取的同时,能够通过转动杆的整体转动调节抓取机构可适配的引线框架宽度,通过缩短竖杆之间间距以适配的引线框架长度,实用性高。
技术领域
本发明涉及半导体元器件领域,特别与一种半导体引线框架抓取机构、转移装置相关。
背景技术
引线框架是半导体器件、集成电路模块的重要载体。在这类器件/模块的制备中,通常会将需要的晶片/芯片,采用粘结等方式固定于引线框架的指定区域,并通过键合金线或设置跳片等实现电气导通,然后封装出塑基,并进行相应的切、冲、折等获得产品。
在封装过程中,由于引线框架厚度很薄且中间区域具有特定的孔、基岛、加强筋等,不易被拾取,并不利于在需要进行贴片、粘胶、固跳片、检测等环节时对引线框架进行转移,若是转移效率低,则将影响中间过程消耗的时间,而拾取或抓取又不能对引线框架造成损伤,尤其是一般不建议从上下表面同时夹持来进行转移,因为这可能造成物理压损及弯折等。
目前多采用的解决方式是,多个气动吸头对引线框架长度方向两侧框架体处进行吸附,以实现拾取/抓取,然而,实际生产中,会面临多种型号规格的引线框架,比如具有不同排数的引线框架,其具有不同的宽度及长度,这个时候,当前的吸头并不能直接对应,需要进行调节,且调节需要对每个吸头位置单独调整,目前无法同时自动调节且单纯的手动方式无法达到调节匹配的效果,有必要加以改进。
发明内容
针对相关现有技术存在的问题,本发明提供一种半导体引线框架抓取机构、转移装置,用于半导体器件或集成电路器件封装工序,可在通过气动方式作用于引线框架两侧本体以实现拾取/抓取的同时,能够通过转动杆的整体转动调节抓取机构可适配的引线框架宽度,通过缩短竖杆之间间距以适配的引线框架长度,实用性强。
为了实现上述目的,本发明采用以下技术:
一种半导体引线框架抓取机构,其特征在于,包括:
壳体,其顶面沿长度方向阵列有两排键型孔,键型孔内穿均设竖杆;
第一行程机构,设于壳体内,与竖杆底端连接,用于驱动竖杆沿键型孔长度方向移动;
转动杆,其一端转动设于竖杆顶端,另一端竖向连接气动吸头组件,气动吸头组件用于在于引线框架接触时对引线框架进行吸附;以及
第二行程机构,设于壳体顶面,用于作用于转动杆连接竖杆的一端以驱动转动杆转动。
进一步,每排键型孔具有≥4的偶数数量,第一行程机构包括两组驱动组件,各组驱动组件分别对应用于驱动一排键型孔内穿设的竖杆,驱动组件包括:
中间固定板,固定于壳体,每排键型孔以数量相等的方式对称于中间固定板布置;以及
沿中间固定板对称布置的一对多级传动组件,一对多级传动组件的传动方向相反;其中,多级传动组件包括:一个一级组件以及至少一个次级组件;
一级组件,包括第一螺杆以及与第一螺杆螺纹配合的第一螺母座;一对多级传动组件中,其中一个多级传动组件的第一螺杆外端连接转动机构,另一个多级传动组件的第一螺杆外端转动配合于配合座,配合座固定于壳体,第一螺杆内端均转动配合于级间板,级间板固定于壳体,内端连接有初级齿轮;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川晶辉半导体有限公司,未经四川晶辉半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011134998.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造