[发明专利]掩膜板的修复方法

说明书

本申请实施例提供一种掩膜板的修复方法，该掩膜板包括具有开口的框式框架、多个第一遮挡条和多个掩膜条，框式框架包括在第一方向上相对的左边框和右边框，以及在第二方向上相对的上边框和下边框，第一遮挡条及掩膜条固定于上边框和下边框。该修复方法包括：识别掩膜条变形区，掩膜板中具有沿第二方向上外扩变形的掩膜条的区域识别为掩膜条变形区；替换遮挡条，对第二遮挡条进行张网处理，用第二遮挡条替换掩膜条变形区中的至少部分第一遮挡条并连接至上边框和下边框，使外扩变形掩膜条沿第二方向向内回缩。本申请旨在降低掩膜板修复过程的成本以及缩短修复时间，从而提高显示面板生产效率，降低生产成本。

技术领域

本发明掩膜板设备技术领域，尤其涉及一种掩膜板的修复方法。

背景技术

通常制备有机发光二极管(OLED,Organic Light-Emitting Diode)显示面板过程中蒸镀工艺为制备OLED显示面板的核心工艺之一。掩膜板的蒸镀过程中蒸镀材料蒸镀到蒸镀基板上的待蒸镀区的蒸镀精度对蒸镀效果有重要影响。蒸镀过程中蒸镀材料蒸镀到蒸镀基板的待蒸镀区时蒸镀精度低会导致在待蒸镀区上出现蒸镀材料镀偏的现象，造成OLED显示面板的混色问题，进而影响显示面板的显示效果。

在蒸镀过程中，掩膜板上的掩膜条发生变形从而使得掩膜条上的多个图案蒸镀区发生变形影响蒸镀精度，一般采用替换变形的掩膜条的方法提高蒸镀精度。但是掩膜条价格较高，替换掩膜条所需时间长，造成显示面板成本高且生产效率低。

因此急需一种新型的掩膜板的修复方法。

发明内容

本申请实施例提供一种掩膜板的修复方法，旨在降低掩膜板修复过程的成本以及缩短修复时间，从而提高显示面板生产的效率，降低显示面板生成成本。

本申请实施例提供一种掩膜板的修复方法，包括：

掩膜板包括具有开口的框式框架、多个第一遮挡条和多个掩膜条，框式框架包括在第一方向上相对的左边框和右边框，以及在第二方向上相对的上边框和下边框，第一遮挡条及掩膜条固定于上边框和下边框；

识别掩膜条变形区，掩膜板中具有沿第二方向上外扩变形的掩膜条的区域识别为掩膜条变形区；

替换遮挡条，对第二遮挡条进行张网处理，用第二遮挡条替换掩膜条变形区中的至少部分第一遮挡条，并连接至上边框和下边框，使外扩变形掩膜条沿第二方向向内回缩。

根据本申请实施例的前述任一实施方式，替换遮挡条的步骤中：

第二遮挡条以掩膜条变形区在第一方向上的中心线为对称轴对称分布。第二遮挡条为掩膜板的上边框以及下边框提供以掩膜条变形区在第一方向上的中心线为对称轴，对称分布于掩膜条变形区的拉力，保证掩膜条变形区中所有沿第二方向上外扩变形的掩膜条均沿第二方向向内回缩。

根据本申请实施例的前述任一实施方式，替换遮挡条的步骤中：

第二遮挡条位于掩膜条变形区在第一方向上的中心部位。第二遮挡条对位于掩膜条变形区中心部位的上边框和下边框提供相对靠拢的拉力，则位于掩膜条变形区左、右两侧的外扩变形掩膜条均可沿第二方向向内回缩。

根据本申请实施例的前述任一实施方式，替换遮挡条的步骤中：

至少两条第二遮挡条位于中心部位且在第一方向上连续间隙分布。

根据本申请实施例的前述任一实施方式，替换遮挡条的步骤中：

使至少一条替换的掩膜条替换至少一条位于中心部位的掩膜条，且替换的掩膜条设置于中心部位处的相邻第二遮挡条之间。可以在合理控制成本的情况下，提高掩膜板修复过程的效率。