[发明专利]掩膜板的修复方法有效

专利信息
申请号: 202011133646.9 申请日: 2020-10-21
公开(公告)号: CN112251715B 公开(公告)日: 2022-06-24
发明(设计)人: 刘景涛 申请(专利权)人: 云谷(固安)科技有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/24
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 代理人: 娜拉
地址: 065500 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 掩膜板 修复 方法
【权利要求书】:

1.一种掩膜板的修复方法,所述掩膜板包括具有开口的框式框架、多个第一遮挡条和多个掩膜条,所述框式框架包括在第一方向上相对的左边框和右边框,以及在第二方向上相对的上边框和下边框,所述第一遮挡条及所述掩膜条固定于所述上边框和下边框,其特征在于,包括:

识别掩膜条变形区,将所述掩膜板中具有沿所述第二方向上外扩变形的掩膜条的区域识别为所述掩膜条变形区;

替换遮挡条,对第二遮挡条进行张网处理,用所述第二遮挡条替换所述掩膜条变形区中的至少部分所述第一遮挡条,并连接至所述上边框和所述下边框,使所述外扩变形掩膜条沿所述第二方向向内回缩,

其中,在所述第二遮挡条张网处理过程中控制对所述第二遮挡条施加的沿所述第二方向的拉力,使所述第二遮挡条连接于所述上边框和所述下边框时,

所述外扩变形的掩膜条沿所述第二方向向内回缩至在所述第二方向上不具有形变的状态,

且在所述掩膜条变形区中,从所述第二遮挡条向所述左边框方向间隙分布的所述掩膜条与从所述第二遮挡条向所述右边框方向间隙分布的所述掩膜条相向外凸变形,以使所述掩膜条具有沿所述第一方向的补偿预变形,该补偿预变形与蒸镀过程中因所述掩膜板下垂造成沿所述第一方向的变形相抵。

2.根据权利要求1所述的修复方法,其特征在于,所述替换遮挡条的步骤中:

所述第二遮挡条以所述掩膜条变形区在所述第一方向上的中心线为对称轴对称分布。

3.根据权利要求1所述的修复方法,其特征在于,所述替换遮挡条的步骤中:

所述第二遮挡条位于所述掩膜条变形区在所述第一方向上的中心部位。

4.根据权利要求3所述的修复方法,其特征在于,所述替换遮挡条的步骤中:

至少两条所述第二遮挡条位于所述中心部位且在所述第一方向上连续间隙分布。

5.根据权利要求4所述的修复方法,其特征在于,所述替换遮挡条的步骤中:

使至少一条替换的掩膜条替换至少一条位于所述中心部位的所述掩膜条,且所述替换的掩膜条设置于所述中心部位处的相邻所述第二遮挡条之间。

6.根据权利要求1所述的修复方法,其特征在于,包括:

建立数据库,所述数据库包括所述掩膜条变形区中沿所述第二方向外扩变形的掩膜条的外扩变形量、所述第二遮挡条张网处理过程中对所述第二遮挡条施加的沿所述第二方向的拉力值和所述第二遮挡条的数量这三者之间的三维曲线。

7.根据权利要求6所述的修复方法,其特征在于,所述替换遮挡条的步骤中:

根据所述掩膜条变形区中沿所述第二方向外扩变形的掩膜条的外扩变形量通过所述数据库确定所述第二遮挡条的数量。

8.根据权利要求6所述的修复方法,其特征在于,所述替换遮挡条的步骤中:

根据所述掩膜条变形区中沿所述第二方向外扩变形的掩膜条的外扩变形量通过所述数据库确定所述第二遮挡条张网处理过程中对所述第二遮挡条施加的沿所述第二方向的拉力值。

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