[发明专利]一种光致抗蚀干膜及其制备方法在审
申请号: | 202011121146.3 | 申请日: | 2020-10-19 |
公开(公告)号: | CN112099312A | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 杨仁鸿;杨忠平;杨伟奕 | 申请(专利权)人: | 河源诚展科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/11 | 分类号: | G03F7/11;G03F7/09 |
代理公司: | 河源市华标知识产权代理事务所(普通合伙) 44670 | 代理人: | 郝红建;石其飞 |
地址: | 517000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光致抗蚀干膜 及其 制备 方法 | ||
本发明公开了一种光致抗蚀干膜,包括PET承载膜、抗蚀层和下层OPP膜;抗蚀层由按照重量份数计的以下组分构成:光引发剂1‑6份,粘合剂20~30份,可加聚单体5~40%,碱溶性树脂50‑80份,添加剂2~30份,热聚合抑制剂0.003~0.04份,所述碱溶性树脂由12‑17重量份的甲基丙烯酸、25‑40重量份的甲基丙烯酸四氢糠基酯、10‑30重量份的甲基丙烯酸异辛酯、5‑15重量份的丙烯酸月桂酯通过悬浮聚合得到。本发明提升了膜的品质,改善制备时的环境,提高安全性。
技术领域
本发明涉及干膜技术领域,具体地说是一种光致抗蚀干膜及其制备方法。
背景技术
近年来,随着电子设备的高度集成化,对感光干膜抗蚀剂的需求不断增加,感光干膜抗蚀剂已成为现代电子领域、特别是印刷电路板领域的重要材料。但在印刷电路板的制作阶段,现有技术所使用的感光干膜抗蚀剂会散发出强烈的刺激气味,对使用环境影响较大,严重影响操作人员的身体健康,同时也是形成空气污染的重要原因。而且传统的通常采用PE膜复合,热收缩系数比较大,制成干膜产品后,干膜容易自卷,导致客户端使用的时候贴膜机掉膜严重。
发明内容
为了解决上述的技术问题,本发明提供了一种光致抗蚀干膜及其制备方法。
为了解决上述技术问题,本发明采取以下技术方案:
一种光致抗蚀干膜,包括PET承载膜、抗蚀层和下层OPP膜;
抗蚀层由按照重量份数计的以下组分构成:
光引发剂1-6份,粘合剂20~30份,可加聚单体5~40份,碱溶性树脂50-80份,添加剂2~30份,热聚合抑制剂0.003~0.04份。
所述碱溶性树脂由12-17重量份的甲基丙烯酸、25-40重量份的甲基丙烯酸四氢糠基酯、10-30重量份的甲基丙烯酸异辛酯、5-15重量份的丙烯酸月桂酯通过悬浮聚合得到。
所述光引发剂为二苯甲酮、二甲氧基苯基苯乙酮或米蚩铜。
所述碱溶性树脂的重均分子量Mw为120000-150000,PDI小于2.2。
所述添加剂为增粘剂、增塑剂、光照射发色染料、热阻聚剂或抗氧化剂。
所述粘合剂为SMA树脂和丙烯酸酯树脂的混合物。
所述可加聚单体为乙二醇二丙烯酸酯、二甘醇二丙烯酸酯、甘油二丙烯酸酯和甘油三丙烯酸酯中的一种或多种。
一种光致抗蚀干膜的制备方法,包括以下步骤:
将光引发剂、粘合剂、可加聚单体、碱溶性树脂、添加剂、热聚合抑制剂混合均匀,得到干膜溶液;
将干膜溶液均匀涂布在PET表面,进行烘干,形成抗蚀层;
在抗蚀层表面贴合OPP膜,获得三层结构的光致抗蚀干膜。
本发明提升了膜的品质,改善制备时的环境,提高安全性。
附图说明
附图1为本发明干膜剖面示意图。
具体实施方式
为能进一步了解本发明的特征、技术手段以及所达到的具体目的、功能,下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。
实施例一
如附图1所示,一种光致抗蚀干膜,包括PET承载膜、抗蚀层和下层OPP膜。
抗蚀层由按照重量份数计的以下组分构成:
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