[发明专利]一种光致抗蚀干膜及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202011121146.3 申请日: 2020-10-19
公开(公告)号: CN112099312A 公开(公告)日: 2020-12-18
发明(设计)人: 杨仁鸿;杨忠平;杨伟奕 申请(专利权)人: 河源诚展科技有限公司
主分类号: G03F7/11 分类号: G03F7/11;G03F7/09
代理公司: 河源市华标知识产权代理事务所(普通合伙) 44670 代理人: 郝红建;石其飞
地址: 517000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 光致抗蚀干膜 及其 制备 方法
【说明书】:

发明公开了一种光致抗蚀干膜,包括PET承载膜、抗蚀层和下层OPP膜;抗蚀层由按照重量份数计的以下组分构成:光引发剂1‑6份,粘合剂20~30份,可加聚单体5~40%,碱溶性树脂50‑80份,添加剂2~30份,热聚合抑制剂0.003~0.04份,所述碱溶性树脂由12‑17重量份的甲基丙烯酸、25‑40重量份的甲基丙烯酸四氢糠基酯、10‑30重量份的甲基丙烯酸异辛酯、5‑15重量份的丙烯酸月桂酯通过悬浮聚合得到。本发明提升了膜的品质,改善制备时的环境,提高安全性。

技术领域

本发明涉及干膜技术领域,具体地说是一种光致抗蚀干膜及其制备方法。

背景技术

近年来,随着电子设备的高度集成化,对感光干膜抗蚀剂的需求不断增加,感光干膜抗蚀剂已成为现代电子领域、特别是印刷电路板领域的重要材料。但在印刷电路板的制作阶段,现有技术所使用的感光干膜抗蚀剂会散发出强烈的刺激气味,对使用环境影响较大,严重影响操作人员的身体健康,同时也是形成空气污染的重要原因。而且传统的通常采用PE膜复合,热收缩系数比较大,制成干膜产品后,干膜容易自卷,导致客户端使用的时候贴膜机掉膜严重。

发明内容

为了解决上述的技术问题,本发明提供了一种光致抗蚀干膜及其制备方法。

为了解决上述技术问题,本发明采取以下技术方案:

一种光致抗蚀干膜,包括PET承载膜、抗蚀层和下层OPP膜;

抗蚀层由按照重量份数计的以下组分构成:

光引发剂1-6份,粘合剂20~30份,可加聚单体5~40份,碱溶性树脂50-80份,添加剂2~30份,热聚合抑制剂0.003~0.04份。

所述碱溶性树脂由12-17重量份的甲基丙烯酸、25-40重量份的甲基丙烯酸四氢糠基酯、10-30重量份的甲基丙烯酸异辛酯、5-15重量份的丙烯酸月桂酯通过悬浮聚合得到。

所述光引发剂为二苯甲酮、二甲氧基苯基苯乙酮或米蚩铜。

所述碱溶性树脂的重均分子量Mw为120000-150000,PDI小于2.2。

所述添加剂为增粘剂、增塑剂、光照射发色染料、热阻聚剂或抗氧化剂。

所述粘合剂为SMA树脂和丙烯酸酯树脂的混合物。

所述可加聚单体为乙二醇二丙烯酸酯、二甘醇二丙烯酸酯、甘油二丙烯酸酯和甘油三丙烯酸酯中的一种或多种。

一种光致抗蚀干膜的制备方法,包括以下步骤:

将光引发剂、粘合剂、可加聚单体、碱溶性树脂、添加剂、热聚合抑制剂混合均匀,得到干膜溶液;

将干膜溶液均匀涂布在PET表面,进行烘干,形成抗蚀层;

在抗蚀层表面贴合OPP膜,获得三层结构的光致抗蚀干膜。

本发明提升了膜的品质,改善制备时的环境,提高安全性。

附图说明

附图1为本发明干膜剖面示意图。

具体实施方式

为能进一步了解本发明的特征、技术手段以及所达到的具体目的、功能,下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。

实施例一

如附图1所示,一种光致抗蚀干膜,包括PET承载膜、抗蚀层和下层OPP膜。

抗蚀层由按照重量份数计的以下组分构成:

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