[发明专利]一种光致抗蚀干膜及其制备方法

权利要求书

1.一种光致抗蚀干膜，其特征在于，包括PET承载膜、抗蚀层和下层OPP膜；

抗蚀层由按照重量份数计的以下组分构成：

光引发剂1-6份，粘合剂20～30份，可加聚单体5～40份，碱溶性树脂50-80份，添加剂2～30份，热聚合抑制剂0.003～0.04份。

2.根据权利要求1所述的光致抗蚀干膜，其特征在于，所述碱溶性树脂由12-17重量份的甲基丙烯酸、25-40重量份的甲基丙烯酸四氢糠基酯、10-30重量份的甲基丙烯酸异辛酯、5-15重量份的丙烯酸月桂酯通过悬浮聚合得到。

3.根据权利要求2所述的光致抗蚀干膜，其特征在于，所述光引发剂为二苯甲酮、二甲氧基苯基苯乙酮或米蚩铜。

4.根据权利要求3所述的光致抗蚀干膜，其特征在于，所述碱溶性树脂的重均分子量为120000-150000，PDI小于2.2。

5.根据权利要求4所述的光致抗蚀干膜，其特征在于，所述添加剂为增粘剂、增塑剂、光照射发色染料、热阻聚剂或抗氧化剂。

6.根据权利要求5所述的光致抗蚀干膜，其特征在于，所述粘合剂为SMA树脂和丙烯酸酯树脂的混合物。

7.根据权利要求6所述的光致抗蚀干膜，其特征在于，所述可加聚单体为乙二醇二丙烯酸酯、二甘醇二丙烯酸酯、甘油二丙烯酸酯和甘油三丙烯酸酯中的一种或多种。

8.一种根据权利要求1-7中任一项所述的光致抗蚀干膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

将光引发剂、粘合剂、可加聚单体、碱溶性树脂、添加剂、热聚合抑制剂混合均匀，得到干膜溶液；

将干膜溶液均匀涂布在PET表面，进行烘干，形成抗蚀层；

在抗蚀层表面贴合OPP膜，获得三层结构的光致抗蚀干膜。