[发明专利]基板传送设备和基板处理设备

权利要求书

1.一种基板传送设备，包括：

传送机器人；

线性导轨单元，所述线性导轨单元包括可移动板和运转轴，在所述可移动板上安装有所述传送机器人，所述可移动板在所述运转轴上行进；以及

颗粒扩散防止构件，所述颗粒扩散防止构件被构造为通过保持所述可移动板与所述运转轴之间的压差来防止颗粒扩散到外部。

2.根据权利要求1所述的基板传送设备，其中所述颗粒扩散防止构件包括：

气体供应单元，所述气体供应单元被构造为将惰性气体供应到所述可移动板与所述运转轴之间的空间中；以及

排气端口，所述排气端口被构造为从所述运转轴的下方抽吸所述运转轴周围的空气。

3.根据权利要求2所述的基板传送设备，其中所述颗粒扩散防止构件还包括：

曲折的气体通道，所述曲折的气体通道设置在所述可移动板与所述运转轴之间的所述空间中，以使从所述气体供应单元供应的所述惰性气体通过所述排气端口释放。

4.根据权利要求2所述的基板传送设备，其中所述颗粒扩散防止构件还包括：

屏蔽罩构件，所述屏蔽罩构件被构造为防止在所述可移动板与所述运转轴之间的所述空间中生成的颗粒以及从所述气体供应单元供应的所述惰性气体扩散到外部。

5.根据权利要求4所述的基板传送设备，其中所述屏蔽罩构件以与所述运转轴相同的长度进行安装。

6.根据权利要求5所述的基板传送设备，其中所述屏蔽罩构件包括：

下部罩，所述下部罩设置在所述运转轴与所述气体供应单元之间；以及

上部罩，所述上部罩被构造为围绕所述运转轴的外侧和所述运转轴的顶侧。

7.根据权利要求6所述的基板传送设备，其中所述下部罩和所述上部罩在所述可移动板与所述运转轴之间的所述空间中提供曲折的气体通道，以使从所述气体供应单元供应的所述惰性气体通过所述排气端口释放。

8.根据权利要求7所述的基板传送设备，其中所述可移动板具有使所述下部罩和所述上部罩穿过的狭槽。

9.根据权利要求7所述的基板传送设备，其中所述可移动板包括：

第一狭槽，所述第一狭槽从所述可移动板的侧表面沿水平方向形成；

第二狭槽，所述第二狭槽从所述第一狭槽的端部向下形成；

第三狭槽，所述第三狭槽从所述第一狭槽的与所述第二狭槽间隔开预定距离的任何位置向下形成；

第四狭槽，所述第四狭槽从所述可移动板的底表面向上形成、并且位于所述第二狭槽与所述第三狭槽之间；以及

轴向狭槽，所述轴向狭槽形成在所述可移动板的所述底表面上，所述运转轴插入所述轴向狭槽中。

10.根据权利要求9所述的基板传送设备，其中所述上部罩包括：

第一侧板，所述第一侧板沿着所述运转轴的侧表面定位；

第一上板，所述第一上板从所述第一侧板的上端沿所述水平方向延伸，所述第一上板位于所述第一狭槽中；以及

从所述第一上板向下延伸的第一弯折板和第二弯折板，所述第一弯折板和所述第二弯折板分别位于所述第二狭槽和所述第三狭槽中。

11.根据权利要求9所述的基板传送设备，其中所述下部罩包括竖直地位于所述第四狭槽和所述轴向狭槽中的第三弯折板和第四弯折板。

12.根据权利要求11所述的基板传送设备，其中所述气体供应单元被提供用于在所述第一弯折板与所述第三弯折板之间供应所述惰性气体。

13.根据权利要求9所述的基板传送设备，其中所述排气端口被设置成位于所述运转轴的下方。