[发明专利]液体供应系统以及液体供应方法

权利要求书

1.一种液体供应方法，其特征在于，包含：

使用一液体供应系统提供一液体至一第一晶圆上，其中该液体供应系统具有一液体容置槽、一喷头以及一第一过滤器，该液体供应系统用以使该液体从该液体容置槽经该第一过滤器而流至该喷头；

停止提供该液体至该第一晶圆上；

将该第一过滤器替换为一第二过滤器；

外接一循环系统至该液体供应系统；

使用该循环系统，使该液体循环地流过该第二过滤器，其中使该液体循环地流过该第二过滤器包含多个重复循环，每一循环包含：

使该液体从该循环系统流至该第二过滤器的一入口；以及

使该液体从该第二过滤器的一出口流至该循环系统，其中在使该液体从该循环系统流至该第二过滤器的该入口以及使该液体从该第二过滤器的该出口流至该循环系统时，该液体容置槽不提供该液体至该第二过滤器；

在使该液体循环地流过该第二过滤器之后，从该液体供应系统上，移除该循环系统；以及

在移除该循环系统之后，使用该液体供应系统提供该液体至一第二晶圆上。

2.根据权利要求1所述的液体供应方法，其特征在于，还包含：

在使该液体循环地流过该第二过滤器之前，使液体从该液体容置槽经该第二过滤器流至该循环系统。

3.根据权利要求1所述的液体供应方法，其特征在于，该液体是一光阻液。

4.根据权利要求1所述的液体供应方法，其特征在于，在使该液体循环地流过该第二过滤器的进行下，该液体不流至该喷头。

5.一种液体供应方法，其特征在于，包含：

将一第一过滤器安装于一第一管路以及一第二管路之间；

将一循环系统的一第一外接管路连接于该第一管路，且将该循环系统的一第二外接管路连接于该第二管路；

使一液体经由该第一管路、该第一过滤器、该第二管路以及该第二外接管路，流至该循环系统的一第一容置槽；

使该液体经由该第一管路以及该第一外接管路，流至该循环系统的一第二容置槽；以及

在该液体流至该循环系统的该第一容置槽以及该第二容置槽后，进行一第一循环步骤，使该液体从该二容置槽经该第一外接管路、该第一管路、该第一过滤器、该第二管路以及该第二外接管路，流至该第一容置槽。

6.根据权利要求5所述的液体供应方法，其特征在于，还包含：

从该第一管路以及该第二管路上，拆卸该循环系统的该第一外接管路以及该第二外接管路。

7.根据权利要求5所述的液体供应方法，其特征在于，还包含：

在将该第一过滤器安装于该第一管路以及该第二管路之间之前，移除该第一管路以及该第二管路之间的一第二过滤器。

8.根据权利要求5所述的液体供应方法，其特征在于，还包含：

在进行该第一循环步骤之后，进行一第二循环步骤，使该液体从该第一容置槽流至该二容置槽。

9.一种液体供应系统，其特征在于，包含：

一液体容置槽；

一喷头；

一过滤器，以流体连接于该液体容置槽以及该喷头之间；

一第一管路以及一第二管路，分别连接于该过滤器的一入口以及一出口；以及

一可拆式循环系统，具有一第一外接管路以及一第二外接管路，分别可拆地连接于该第一管路以及该第二管路，该可拆式循环系统还包含：

一第一容置槽，其中该第一外接管路连接于该第一容置槽与该第一管路之间；

一第二容置槽，其中该第二外接管路连接于该第二容置槽与该第二管路之间；以及

一循环管路，连接于该第一容置槽以及该第二容置槽之间。

10.根据权利要求9所述的液体供应系统，其特征在于，还包含：一第一气体管路；以及

一第二气体管路，其中该第一以及第二气体管路分别连接该第一以及第二容置槽至多个独立气体供应源。