[发明专利]一种可固定任意异形晶圆的旋转清洗夹具

权利要求书

1.一种可固定任意异形晶圆的旋转清洗夹具，其特征在于：包括底座和若干滑座，所述底座呈圆盘形，所述底座上设有第一轨道和第二轨道，所述第二轨道与第一轨道垂直且设置在第一轨道的两侧，所述底座上中心阵列安装有若干用于支撑晶圆的支撑锥；若干所述滑座滑动设置在第一轨道和第二轨道上，滑座上设置有用于夹持晶圆的固定卡件；

所述底座上设有若干沿第一轨道和第二轨道对称的镂空部，所述镂空部形成第一轨道和第二轨道，第一轨道和第二轨道均沿XY轴对称，第一轨道沿Y轴方向且第一轨道有一个，第二轨道沿X轴方向；

所述滑座包括滑块、滑板、第一固定螺钉、第二固定螺钉和调节螺钉；滑块通过第一固定螺钉设置在滑板的下方，固定卡件通过第二固定螺钉设置在滑板的上方，调节螺钉竖直贯穿设置在滑板上，所述滑块呈L字形，所述固定卡件呈T字形，固定卡件朝向晶圆的一侧设有卡紧缝隙。

2.根据权利要求1所述的一种可固定任意异形晶圆的旋转清洗夹具，其特征在于：所述支撑锥采用聚四氟乙烯材料制成。

3.根据权利要求1所述的一种可固定任意异形晶圆的旋转清洗夹具，其特征在于：所述底座上设有若干供支撑锥穿过的通孔。