[发明专利]一种光驱动复合微米片阵列马达系统

说明书

本发明提供了一种光驱动复合微米片阵列马达系统，包括基底和复合微米片层，复合微米片层置于基底上，复合微米片层由周期排列的复合微米片单元构成，复合微米片单元包括贵金属片和热膨胀片，贵金属片和热膨胀片固定连接，贵金属片和热膨胀片的侧面固定在基底上。应用时，应用脉冲激光从基底一侧照射，导致复合微米片单元弯曲，从而实现从而光能到机械能的转化。本发明中能够实现更高效率的光能机械能转化，在光催化、环境治理等领域具有较好的应用价值。

技术领域

本发明涉及光驱动微马达技术领域，具体涉及一种光驱动复合微米片阵列马达系统。

背景技术

微马达系统在微纳机械、临床医学、环境治理等领域具有广泛的应用。在现有微马达中，多是通过超声波或磁场来驱动的，限制了微马达系统的应用。

发明内容

为解决以上问题，本发明提供了一种光驱动复合微米片阵列马达系统，包括基底和复合微米片层，复合微米片层置于基底上，复合微米片层由周期排列的复合微米片单元构成，复合微米片单元包括贵金属片和热膨胀片，贵金属片和热膨胀片固定连接，贵金属片和热膨胀片的侧面固定在基底上。

更进一步地，贵金属片的材料为金。

更进一步地，贵金属片中设有孔洞。

更进一步地，孔洞的尺寸不等。

更进一步地，孔洞非周期排布。

更进一步地，基底为二氧化硅。

更进一步地，还包括凹槽，凹槽设置在基底的表面相邻复合微米片单元之间。

更进一步地，贵金属片的高度小于热膨胀片的高度。

更进一步地，凹槽的底面为斜面，在热膨胀片一侧，凹槽深；在贵金属片一侧，凹槽浅。

更进一步地，热膨胀层的材料为锰镍合金。

本发明的有益效果：本发明提供了一种光驱动复合微米片阵列马达系统，包括基底和复合微米片层，复合微米片层置于基底上，复合微米片层由周期排列的复合微米片单元构成，复合微米片单元包括贵金属片和热膨胀片，贵金属片和热膨胀片固定连接，贵金属片和热膨胀片的侧面固定在基底上。应用时，应用脉冲激光从基底一侧照射，脉冲激光经过基底后，被耦合到贵金属片上，贵金属片吸收脉冲激光的能量转化为热，这些热也传递给热膨胀片，由于热膨胀片与贵金属片的材料不同和热膨胀系数不同，从而导致复合微米片单元弯曲，从而实现从而光能到机械能的转化。本发明中，贵金属片的法线方向与基底的法线方向垂直，入射脉冲激光的方向与贵金属片法线的方向垂直，增加了贵金属片与入射脉冲激光的作用距离，增强了贵金属片与脉冲激光的耦合，使得贵金属片吸收更多的光能量，从而使得热膨胀片弯曲更多，从而实现更高效率的光能机械能转化，在光催化、环境治理等领域具有较好的应用价值。

以下将结合附图对本发明做进一步详细说明。

附图说明

图1是一种光驱动复合微米片阵列马达系统的示意图。

图2是又一种光驱动复合微米片阵列马达系统的示意图。

图中：1、基底；2、贵金属片；3、热膨胀片；4、凹槽。

具体实施方式

为进一步阐述本发明达成预定目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及实施例对本发明的具体实施方式、结构特征及其功效，详细说明如下。

实施例1