[发明专利]一种刚度可调节的真空泵减振装置

权利要求书

1.一种刚度可调节的真空泵减振装置，其特征在于，设置于真空泵(50)与用于安装所述真空泵(50)的支架(10)之间，包括：

压紧件(20)，与所述支架(10)相连接；

垫片(30)，设置于所述支架(10)与所述压紧件(20)之间；以及；

第一减振件(40)，开设有第二安装孔(41)，所述第一减振件(40)通过所述第二安装孔(41)过盈连接于所述真空泵(50)电机端的端部，并通过所述压紧件(20)与所述支架(10)的连接压紧于所述真空泵(50)上；

其中，所述第一减振件(40)与所述真空泵(50)之间的压紧程度通过所述垫片(30)的厚度调节。

2.根据权利要求1所述的刚度可调节的真空泵减振装置，其特征在于，所述压紧件(20)上设置有多个卡爪(22)，所述第一减振件(40)上设置有分别与每个所述卡爪(22)相对应的凹槽(42)，所述第一减振件(40)通过所述凹槽(42)与所述卡爪(22)的连接安装在所述压紧件(20)上。

3.根据权利要求1所述的刚度可调节的真空泵减振装置，其特征在于，所述压紧件(20)上开设有第一安装孔(21)，所述真空泵(50)贯穿并且限位于所述第一安装孔(21)内。

4.根据权利要求3所述的刚度可调节的真空泵减振装置，其特征在于，所述压紧件(20)呈碗形结构，所述第一减振件(40)呈与所述碗形结构的底部适配的圆环形结构，所述第一减振件(40)与所述真空泵(50)电机端端部相接触的表面积相等。

5.根据权利要求3所述的刚度可调节的真空泵减振装置，其特征在于，沿所述第二安装孔(41)的周向在所述第一减振件(40)上设置有多个用于吸收振动能量的减震孔(43)。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的刚度可调节的真空泵减振装置，其特征在于，还包括第二减振件(70)，所述第二减振件(70)的一端与所述支架(10)相连接，所述第二减振件(70)的另一端连接有连接件(60)，所述连接件(60)与所述真空泵(50)相连接。

7.根据权利要求6所述的刚度可调节的真空泵减振装置，其特征在于，所述第二减振件(70)的两端分别连接有第二螺柱(71)，所述支架(10)与所述连接件(60)上分别开设有通孔，所述第二减振件(70)分别通过两端的第二螺柱(71)贯穿所述通孔后与螺母的配合连接在所述支架(10)与所述连接件(60)之间。

8.根据权利要求7所述的刚度可调节的真空泵减振装置，其特征在于，所述第二螺柱(71)连接有限位片(72)，所述限位片(72)的端部设置有限位翻边(73)，所述支架(10)与所述连接件(60)分别设置有与所述限位翻边(73)相对应的限位孔，所述第二减振件(70)还通过所述限位翻边(73)与所述限位孔的连接安装在所述支架(10)与所述连接件(60)之间。

9.根据权利要求6所述的刚度可调节的真空泵减振装置，其特征在于，所述支架(10)包括顶板(11)、底板(12)以及连接板(13)，所述真空泵(50)的电机端通过所述压紧件(20)与第一减振件(40)连接在所述顶板(11)上，与所述真空泵(50)的电机端相对的另一端通过所述连接件(60)与第二减振件(70)连接在所述底板(12)上。

10.根据权利要求9所述的刚度可调节的真空泵减振装置，其特征在于，所述顶板(11)上设置有第一螺柱(14)，所述压紧件(20)与所述垫片(30)上分别设置有与所述第一螺柱(14)相对应的安装孔，所述压紧件(20)与所述垫片(30)通过所述安装孔安装在所述第一螺柱(14)上，所述压紧件(20)与所述垫片(30)通过螺母压紧。