[发明专利]一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置

说明书

本发明公开了一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，包括有平台基座、滑动设置于平台基座上的载入载出移动工作台和可移动检测单元安装架、横向滑动设置于可移动检测单元安装架上的横向滑板、竖直滑动设置于横向滑板上的竖直滑板、固定于竖直滑板上的角度旋转台、与角度旋转台连接的模块化检测单元、固定连接于载入载出移动工作台上的水平旋转台和大口径多面体光学元件装夹装置。本发明可移动检测单元安装架的纵向移动实现待测元件的对焦，通过角度旋转台、水平旋转台使得模块化检测单元的探头朝向待测光学表面，通过横向滑板和竖直滑板的移动，实现模块化检测单元二维扫描检测，利用机器检测代替人工，大幅度提高检测效率及检测精度。

技术领域

本发明涉及光学元件检测领域，具体是一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置。

背景技术

国内外对精密的光滑表面疵病检测有许多方法，大多是根据疵病对光的不同散射特性来判别，传统的针对光学元件的检测方法主要是目视法，通过目视或借助辅助工具进行观察，疵病由不同方法而呈亮像或暗像，目视法受检测工人的熟练程度影响较大，主观性较强，而且长期的检测会造成人眼疲劳，同时不易给出疵病信息的定量评价。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，利用机器检测代替人工，大幅度提高检测效率及检测精度。

本发明的技术方案为：

一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，包括有平台基座、设置于平台基座上端面上的横向导轨和纵向导轨、滑动设置于横向导轨上的载入载出移动工作台、滑动设置于纵向导轨上的可移动检测单元安装架、设置于可移动检测单元安装架上的横向检测导轨、滑动设置于横向检测导轨上的横向滑板、设置于横向滑板上的竖直导轨、滑动设置于竖直导轨上的竖直滑板、固定于竖直滑板竖直面上的角度旋转台、与角度旋转台连接的模块化检测单元、固定于载入载出移动工作台上的水平旋转台、连接于水平旋转台上的大口径多面体光学元件装夹装置；

所述的横向导轨的一端部为上下料工位、另一端部为检测工位，所述的载入载出移动工作台在上下料工位和检测工位之间流转，所述的纵向导轨的内端朝向横向导轨的检测工位；

所述的横向检测导轨与横向导轨相互平行，所述的角度旋转台的转轴为水平横向设置，模块化检测单元固定连接于角度旋转台的转轴上由角度旋转台驱动转动，所述的模块化检测单元的探头朝向横向导轨方向。

所述的水平旋转台上固定连接有光学表面调平装置，所述的大口径多面体光学元件装夹装置固定于光学表面调平装置上。

所述的平台基座为大理石基座结构，所述的可移动检测单元安装架为大理石龙门结构。

所述的模块化检测单元包括暗场显微成像模块和亮场显微成像模块。

本发明的优点：

(1)、本发明横向导轨设置有上下料工位和检测工位，便于利用辅助助力装置将大口径多面体光学元件在上下料工位处置于载入载出移动工作台上，辅助助力装置对操作空间也有一定的要求，设置上下料工位，从而为大口径多面体光学元件的装卸提供更为宽广的操作空间；

(2)、本发明可移动检测单元安装架可沿纵向导轨靠近或远离载入载出移动工作台，从而为光学元件的表面疵病检测提供精确对焦，使得光学系统的焦平面与待测光学表面重合，保证表面疵病检测的检测精度；

(3)、本发明可移动检测单元安装架上设置有横向检测导轨和竖直导轨，从而实现模块化检测单元的横向和竖直运动，从而使得模块化检测单元相对大口径多面体光学元件实现水平扫描检测和竖直扫描检测的目的；