[发明专利]一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置

权利要求书

1.一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，其特征在于：包括有平台基座、设置于平台基座上端面上的横向导轨和纵向导轨、滑动设置于横向导轨上的载入载出移动工作台、滑动设置于纵向导轨上的可移动检测单元安装架、设置于可移动检测单元安装架上的横向检测导轨、滑动设置于横向检测导轨上的横向滑板、设置于横向滑板上的竖直导轨、滑动设置于竖直导轨上的竖直滑板、固定于竖直滑板竖直面上的角度旋转台、与角度旋转台连接的模块化检测单元、固定于载入载出移动工作台上的水平旋转台、连接于水平旋转台上的大口径多面体光学元件装夹装置；

所述的横向导轨的一端部为上下料工位、另一端部为检测工位，所述的载入载出移动工作台在上下料工位和检测工位之间流转，所述的纵向导轨的内端朝向横向导轨的检测工位；

所述的横向检测导轨与横向导轨相互平行，所述的角度旋转台的转轴为水平横向设置，模块化检测单元固定连接于角度旋转台的转轴上由角度旋转台驱动转动，所述的模块化检测单元的探头朝向横向导轨方向。

2.根据权利要求1所述的一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，其特征在于：所述的水平旋转台上固定连接有光学表面调平装置，所述的大口径多面体光学元件装夹装置固定于光学表面调平装置上。

3.根据权利要求1所述的一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，其特征在于：所述的平台基座为大理石基座结构，所述的可移动检测单元安装架为大理石龙门结构。

4.根据权利要求1所述的一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，其特征在于：所述的模块化检测单元包括暗场显微成像模块和亮场显微成像模块。