[发明专利]微波毫米波封装器件及其制作方法有效
| 申请号: | 202011059954.1 | 申请日: | 2020-09-30 |
| 公开(公告)号: | CN112259532B | 公开(公告)日: | 2022-12-13 |
| 发明(设计)人: | 常青松;魏少伟;赵瑞华;孙鉴英;徐达;唐晓赫;闫妍;张军莹;戎子龙;李秀琴;姜永娜;李刚;李子含;曹若男;郭江红 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号: | H01L25/16 | 分类号: | H01L25/16;H01L21/56;H01L23/31;H01L23/552 |
| 代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 柳萌 |
| 地址: | 050051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 微波 毫米波 封装 器件 及其 制作方法 | ||
1.微波毫米波封装器件,其特征在于,包括:
金属管壳,侧壁设有输入连接器和输出连接器;
基板,设于所述金属管壳内部,所述基板内设有电路网络,所述电路网络与所述输入连接器和所述输出连接器分别电连接;所述基板上贴装有多个分别与所述电路网络电连接的片式元件,还设有多个分别与所述电路网络电连接的高频芯片;
多个屏蔽罩,分别罩设于各个所述高频芯片上,并与所述基板焊接固定;
所述屏蔽罩的顶部设有多个通气孔;
所述屏蔽罩为金属材料,且所述屏蔽罩的表面具有电镀层。
2.如权利要求1所述的微波毫米波封装器件,其特征在于,所述金属材料为马口铁或不锈钢,所述电镀层为镍层。
3.微波毫米波封装器件的制作方法,用于制作如权利要求1-2任一项所述的微波毫米波封装器件,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S1,将基板装配于所述金属管壳的框架内;将所述输入连接器、所述输出连接器装配于所述框架上,并分别与所述电路网络电连接,将各个所述片式元件、各个所述高频芯片依次装配于所述基板上;
步骤S2,在所述基板上位于各个所述高频芯片周围的焊盘上施加焊料;
步骤S3,将各个所述屏蔽罩分别与各个所述高频芯片对应,并依次贴装于位于所述高频芯片周围且施加了焊料的所述焊盘上;
步骤S4,依次加热各个所述屏蔽罩,通过热传递使焊料熔化,从而将所述屏蔽罩回流焊接于所述基板上;
步骤S5,将所述金属管壳的盖板封装于所述框架上,获得所述微波毫米波封装器件。
4.如权利要求3所述的微波毫米波封装器件的制作方法,其特征在于,在所述步骤S4中,所述屏蔽罩的加热方式为激光扫描加热。
5.如权利要求3所述的微波毫米波封装器件的制作方法,其特征在于,在所述步骤S4之后还包括:
步骤S40,对各个所述屏蔽罩的焊接位置进行气相清洗。
6.如权利要求3所述的微波毫米波封装器件的制作方法,其特征在于,所述步骤S1包括:
将所述基板焊接或粘接于所述框架的内部;
将所述输入连接器、所述输出连接器分别焊接于所述框架的相应位置,并将所述输入连接器的引脚、所述输出连接器的引脚分别与所述电路网络的相应位置键合;
将各个所述片式元件贴装至所述基板的相应位置;
将各个所述高频芯片固定于所述基板的相应位置,并将各个所述高频芯片的引脚分别与所述电路网络的相应位置键合。
7.如权利要求6所述的微波毫米波封装器件的制作方法,其特征在于,所述输入连接器、所述输出连接器分别与所述框架采用焊料进行焊接;所述片式元件采用SMT工艺贴装于所述基板上;所述高频芯片采用焊接或粘接方式固定于所述基板上。
8.如权利要求3所述的微波毫米波封装器件的制作方法,其特征在于,在所述步骤S2中,所述焊盘上施加的焊料为锡膏。
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