[发明专利]腔室开盖机构

说明书

本发明公开一种在半导体真空传输系统中方便开盖的腔室开盖机构，包括：腔室主体；所述腔室主体具有容纳腔室以及通入所述容纳腔室的开口；可盖合在所述开口上的盖体；所述盖体可转动地连接所述腔室主体；具有第一连接端和第二连接端的气体弹簧；所述第一连接端可转动地连接所述腔室主体，所述第二连接端可转动地连接所述盖体；所述气体弹簧在所述盖体位于盖合位置时处于压缩状态并向上顶抵所述盖体。

技术领域

本发明涉及半导体真空传输系统领域，尤其涉及一种腔室开盖机构。

背景技术

在半导体真空传输系统中，为对真空设备进行维护调试，需要开盖清洁腔体及机器人的内部，移动机器人、机器人手臂或机器人末端执行器等操作。一般真空传输设备处于多台设备之间，周边设备高于真空传输设备，进而被限制了可操作空间。

真空传输设备的盖子直径可达900毫米，重量可达30公斤，盖子重，可操作空间小，对盖子直接拆装以及水平移动都不适合。

目前通常采用盖铰链进行定位，使得盖子可以绕支点方向旋转打开。通过手动操作提起盖子，通过盖子上的手柄，将盖子提起到完全垂直的位置。再使用安全销限位。但是因盖子质量大，开关盖子比较费力，而且此过程中全程不可放手，如中途意外放手存在因盖子自重而关闭，存在安全隐患，不仅夹伤操作人员，真空传输设备的密封面也会损伤，损伤设备。

另外，还有的盖子使用转动升降机顶部的手柄，通过转动手轮，将盖子旋转到90度的位置。盖子可以在转动中途停止，但是这种开盖方式因为齿轮的机械结构，需要较大的安装位置，而且内部结构为齿轮结构，通过开关盖子，齿轮产生摩擦，会产生一定量的污染粒子，制造成本较高。并且，这种开盖方式会因为关闭盖子的力度过大，密封圈受力挤压过度导致变形损害。

发明内容

鉴于上述不足，本发明的一个目的是在半导体真空传输系统中提供一种方便开盖的腔室开盖机构。

为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种腔室开盖结构，包括：

腔室主体；所述腔室主体具有容纳腔室以及通入所述容纳腔室的开口；

可盖合在所述开口上的盖体；所述盖体可转动地连接所述腔室主体；

具有第一连接端和第二连接端的气体弹簧；所述第一连接端可转动地连接所述腔室主体，所述第二连接端可转动地连接所述盖体；所述气体弹簧在所述盖体位于盖合位置时处于压缩状态并向上顶抵所述盖体。

作为一种优选的实施方式，所述第二连接端在所述盖体位于盖合位置时的高度高于所述第一连接端。

作为一种优选的实施方式，所述气体弹簧为氮气弹簧。

作为一种优选的实施方式，所述气体弹簧在所述盖体位于盖合位置时向上顶抵所述盖体的作用力大于所述盖体的重力。

作为一种优选的实施方式，在未受外力的情况下，所述盖体打开预定角度时所述气体弹簧与所述盖体处于力学平衡状态，所述预定角度为10度-30度。

作为一种优选的实施方式，所述腔室主体的上端固定设有基座；

所述盖体上固定设有连接板；所述连接板的一端通过枢转轴与所述基座可转动地连接；所述第二连接端可转动地连接所述连接板，所述第一连接端可转动地连接所述基座。

作为一种优选的实施方式，该腔室开盖机构还包括将所述盖体限位在打开位置的限位件。

作为一种优选的实施方式，所述盖体在所述打开位置的打开角度在90度以上。

作为一种优选的实施方式，所述限位件包括安全销；所述安全销在所述盖体位于打开位置时插入所述基座和所述连接板将所述盖体限位在所述打开位置。