[发明专利]腔室开盖机构在审
申请号: | 202011058867.4 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN112086390A | 公开(公告)日: | 2020-12-15 |
发明(设计)人: | 冯琳 | 申请(专利权)人: | 上海广川科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 张印铎;陈伟 |
地址: | 200444 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 腔室开盖 机构 | ||
1.一种腔室开盖结构,其特征在于,包括:
腔室主体;所述腔室主体具有容纳腔室以及通入所述容纳腔室的开口;
可盖合在所述开口上的盖体;所述盖体可转动地连接所述腔室主体;
具有第一连接端和第二连接端的气体弹簧;所述第一连接端可转动地连接所述腔室主体,所述第二连接端可转动地连接所述盖体;所述气体弹簧在所述盖体位于盖合位置时处于压缩状态并向上顶抵所述盖体。
2.如权利要求1所述的腔室开盖机构,其特征在于,所述第二连接端在所述盖体位于盖合位置时的高度高于所述第一连接端。
3.如权利要求1所述的腔室开盖机构,其特征在于,所述气体弹簧为氮气弹簧。
4.如权利要求1所述的腔室开盖机构,其特征在于,所述气体弹簧在所述盖体位于盖合位置时向上顶抵所述盖体的作用力大于所述盖体的重力。
5.如权利要求4所述的腔室开盖机构,其特征在于,在未受外力的情况下,所述盖体打开预定角度时所述气体弹簧与所述盖体处于力学平衡状态,所述预定角度为10度-30度。
6.如权利要求1所述的腔室开盖机构,其特征在于,所述腔室主体的上端固定设有基座;
所述盖体上固定设有连接板;所述连接板的一端通过枢转轴与所述基座可转动地连接;所述第二连接端可转动地连接所述连接板,所述第一连接端可转动地连接所述基座。
7.如权利要求6所述的腔室开盖机构,其特征在于,还包括将所述盖体限位在打开位置的限位件。
8.如权利要求7所述的腔室开盖机构,其特征在于,所述盖体在所述打开位置的打开角度在90度以上。
9.如权利要求7所述的腔室开盖机构,其特征在于,所述限位件包括安全销;所述安全销在所述盖体位于打开位置时插入所述基座和所述连接板将所述盖体限位在所述打开位置。
10.如权利要求5所述的腔室开盖机构,其特征在于,还设有可解锁的锁定机构;所述锁定机构用于将所述盖体锁定在盖合于所述腔室主体上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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