[发明专利]半导体设备电极板的安装治具

说明书

本公开涉及一种半导体设备电极板的安装治具，包括：对位组件，包括支撑盘和至少两个导向轴，所述支撑盘具有至少两个定位孔、至少两个固定孔和至少两个安装孔，所述导向轴能够穿过所述定位孔和所述定位螺孔，且所述导向轴的一端具有定位槽，所述定位槽能够与所述定位螺钉连接，所述固定螺钉能够穿过所述固定螺孔和所述固定孔；驱动组件，包括安装板组件、至少两个支撑杆、驱动杆组件，所述支撑杆与安装板组件连接，且支撑杆的一端与安装孔连接，驱动杆组件与安装板组件连接；支撑组件，包括至少两个支撑座，支撑座具有安装槽，支撑杆的另一端位于安装槽内。该半导体设备电极板的安装治具能够实现单人安装电极板的目的，并且还能够实现精准定位。

技术领域

本公开涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种半导体设备电极板的安装治具。

背景技术

目前，在半导体技术领域，半导体设备电极板的拆装工作通常需要至少两个操作人员完成，从而浪费了大量的人力资源。同时，在电极板的安装过程中，还需要操作人员手动的将固定盘上的螺钉与电极板上的螺孔对准安装，从而在安装过程中很容易造成固定盘上的唇形密封圈位置偏移，导致腔体内部发生泄漏，最终对半导体的刻蚀等产生影响。并且，操作人员手动安装容易产生碰撞，从而造成电极板的损坏，使得电极板的安装成本增加。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开目的在于提供一种半导体设备电极板的安装治具，该半导体设备电极板的安装治具能够实现单人安装电极板的目的，并且还能够实现精准定位，并节省电极板的安装成本。

本公开提供了一种半导体设备电极板的安装治具，所述半导体设备具有固定盘，且所述固定盘上具有至少两个定位螺钉和至少两个固定螺钉，所述电极板上具有至少两个定位螺孔和至少两个固定螺孔，所述半导体设备电极板的安装治具，包括：

对位组件，包括支撑盘和至少两个导向轴，所述支撑盘具有至少两个定位孔、至少两个固定孔和至少两个安装孔，所述导向轴能够穿过所述定位孔和所述定位螺孔，且所述导向轴的一端具有定位槽，所述定位槽能够与所述定位螺钉连接，所述固定螺钉能够穿过所述固定螺孔和所述固定孔；

驱动组件，包括安装板组件、至少两个支撑杆、驱动杆组件，所述支撑杆与所述安装板组件连接，且所述支撑杆的一端与所述安装孔连接，所述驱动杆组件与所述安装板组件连接；

支撑组件，包括至少两个支撑座，所述支撑座具有安装槽，所述支撑杆的另一端位于所述安装槽内。

在本公开的一种示例性实施例中，所述支撑盘还包括：

卡环导向器，具有第一阻挡部和第一导向部，所述第一阻挡部位于所述第一导向部的外围并与所述第一导向部连接，且所述第一阻挡部与所述支撑盘靠近所述安装板组件的一侧接触，

所述第一导向部的一端穿过所述定位孔，且所述第一导向部具有通孔，所述导向轴能够穿过所述通孔。

在本公开的一种示例性实施例中，所述支撑盘还包括：

驱动导向器，具有第二阻挡部和第二导向部，所述第二阻挡部位于所述第二导向部的外围并与所述第二导向部连接，且所述第二阻挡部与所述支撑盘靠近所述安装板组件的一侧接触，

所述第二导向部具有导向槽，所述导向槽靠近所述安装板组件的一侧具有开口，且所述第二导向部远离所述开口的一端穿过所述安装孔并与所述支撑盘远离所述安装板组件的一侧平齐。

在本公开的一种示例性实施例中，所述安装板组件包括第一安装板件和第二安装板件，

所述第一安装板件位于所述驱动组件靠近所述支撑盘的一侧，所述第二安装板件位于所述驱动组件远离所述支撑盘的一侧，