[发明专利]半导体设备电极板的安装治具

权利要求书

1.一种半导体设备电极板的安装治具，其特征在于，所述半导体设备具有固定盘，且所述固定盘上具有至少两个定位螺钉和至少两个固定螺钉，所述电极板上具有至少两个定位螺孔和至少两个固定螺孔，所述半导体设备电极板的安装治具，包括：

对位组件，包括支撑盘和至少两个导向轴，所述支撑盘具有至少两个定位孔、至少两个固定孔和至少两个安装孔，所述导向轴能够穿过所述定位孔和所述定位螺孔，且所述导向轴的一端具有定位槽，所述定位槽能够与所述定位螺钉连接，所述固定螺钉能够穿过所述固定螺孔和所述固定孔；

驱动组件，包括安装板组件、至少两个支撑杆、驱动杆组件，所述支撑杆与所述安装板组件连接，且所述支撑杆的一端与所述安装孔连接，所述驱动杆组件与所述安装板组件连接；

支撑组件，包括至少两个支撑座，所述支撑座具有安装槽，所述支撑杆的另一端位于所述安装槽内。

2.根据权利要求1所述的半导体设备电极板的安装治具，其特征在于，所述支撑盘还包括：

卡环导向器，具有第一阻挡部和第一导向部，所述第一阻挡部位于所述第一导向部的外围并与所述第一导向部连接，且所述第一阻挡部与所述支撑盘靠近所述安装板组件的一侧接触，

所述第一导向部的一端穿过所述定位孔，且所述第一导向部具有通孔，所述导向轴能够穿过所述通孔。

3.根据权利要求1所述的半导体设备电极板的安装治具，其特征在于，所述支撑盘还包括：

驱动导向器，具有第二阻挡部和第二导向部，所述第二阻挡部位于所述第二导向部的外围并与所述第二导向部连接，且所述第二阻挡部与所述支撑盘靠近所述安装板组件的一侧接触，

所述第二导向部具有导向槽，所述导向槽靠近所述安装板组件的一侧具有开口，且所述第二导向部远离所述开口的一端穿过所述安装孔并与所述支撑盘远离所述安装板组件的一侧平齐。

4.根据权利要求3所述的半导体设备电极板的安装治具，其特征在于，所述安装板组件包括第一安装板件和第二安装板件，

所述第一安装板件位于所述驱动组件靠近所述支撑盘的一侧，所述第二安装板件位于所述驱动组件远离所述支撑盘的一侧，

所述驱动杆组件穿过所述第二安装板件并与所述第一安装板件固定连接，所述支撑杆穿过所述第二安装板件并与所述第一安装板件连接。

5.根据权利要求4所述的半导体设备电极板的安装治具，其特征在于，所述支撑杆具有杆部和第三阻挡部，

所述杆部的一端穿过所述第一安装板件和第二安装板件，并与所述导向槽连接，所述第三阻挡部位于所述杆部外围并与所述杆部连接，且所述第三阻挡部与所述第一安装板件靠近所述支撑盘的一侧接触。

6.根据权利要求4所述的半导体设备电极板的安装治具，其特征在于，所述驱动组件还包括：

至少一个导向杆组件，所述导向杆组件穿过所述第二安装板件并与所述第一安装板件固定连接。

7.根据权利要求6所述的半导体设备电极板的安装治具，其特征在于，所述导向杆组件具有导向杆和滚珠导向器，

所述导向杆穿过所述滚珠导向器并与所述第一安装板固定连接，

所述滚珠导向器具有滚珠导向部和第四阻挡部，所述滚珠导向部穿过所述第二安装板件，

所述第四阻挡部位于所述滚珠导向部的外围，并与所述滚珠导向部连接，且所述第四阻挡部与所述第二安装板件靠近所述支撑盘的一侧接触。

8.根据权利要求4所述的半导体设备电极板的安装治具，其特征在于，所述驱动杆组件具有驱动杆和啮合器，

所述驱动杆的外周面具有第一螺纹，且所述驱动杆的一端与所述第一安装板件连接，

所述啮合器具有啮合部和第五阻挡部，所述啮合部穿过所述第二安装板件，且所述啮合部内表面具有与所述第一螺纹匹配的第二螺纹，所述啮合部与所述驱动杆啮合，

所述第五阻挡部位于所述啮合部的外围，并与所述啮合部连接，且所述第五阻挡部与所述第二安装板件远离所述支撑盘的一侧接触。