[发明专利]一种激光直写成像修正方法、装置、设备及存储介质

说明书

本发明实施例公开了一种激光直写成像修正方法，包括：获取标定板上每个可识别图形的第一纵坐标；采用激光直写成像LDI设备将可识别图形曝光到附有感光材料的基板上，并获取曝光于基板上各可识别图形的第二纵坐标；计算第一纵坐标与第二纵坐标之间的差值，并判断差值是否小于设定阈值；若否，则根据差值调整图形曝光触发信号的物理长度；基于物理长度返回执行采用激光直写成像设备将可识别图形曝光到附有感光材料的基板上，并获取曝光于基板上各可识别图形的第二纵坐标的操作，直到差值小于设定阈值；将调整后的物理长度确定为激光直写成像设备的工作参数。本发明实施例提供的激光直写成像修正方法可以达到减少人力成本与设备成本的目的。

技术领域

本发明涉及激光直写成像领域，尤其涉及一种激光直写成像修正方法、装置、设备及存储介质。

背景技术

激光直写成成像(LDI)设备是一种光刻法的曝光设备，其不需要使用光掩模，而是基于所输入的像素图案等数字数据移动光源，通过光源产生光速直接扫描在感光性组合物上，形成图案。光源通常是半导体激光器、气体激光器等，光源的移动是靠运动机构驱动的。

激光直写成成像(LDI)设备的运动机构为高精密运动机构，在实际设备生产过程中，不可能做到绝对直线度。从微观上看，运动导轨存在弯曲偏斜的现象，使得依托导轨的载物台在运动过程中也存在相应的运动偏摆，当偏摆超过设备误差允许的范围时，设备生产出来的产品就属于不良品。

发明内容

本发明实施例提供了一种激光直写成像修正方法、装置、设备及存储介质，可以实现

第一方面，本发明实施例提供了一种激光直写成像修正方法，包括：

获取标定板上每个可识别图形的第一纵坐标；

采用激光直写成像LDI设备将所述可识别图形曝光到附有感光材料的基板上，并获取曝光于所述基板上各可识别图形的第二纵坐标；

计算所述第一纵坐标与所述第二纵坐标之间的差值，并判断所述差值是否小于设定阈值；

若否，则根据所述差值调整图形曝光触发信号的物理长度；

基于所述物理长度返回执行采用激光直写成像设备将所述可识别图形曝光到附有感光材料的基板上，并获取曝光于所述基板上各可识别图形的第二纵坐标的操作，直到所述差值小于所述设定阈值；

将调整后的物理长度确定为所述激光直写成像设备的工作参数。

进一步地，计算所述第一纵坐标与所述第二纵坐标之间的差值，包括：

计算各可识别图形的第一纵坐标与第二纵坐标的差值；

将各差值的平均值确定为最终的差值。

进一步地，根据所述差值调整图形曝光触发信号的物理长度，包括：

根据所述差值和曝光次数确定信号调整值；

基于所述信号调整值调整图形曝光触发信号的物理长度。

进一步地，基于所述信号调整值调整图形曝光触发信号的物理长度，包括：

若所述差值大于零，则增大触发信号的物理长度；

若所述差值小于零，则减小触发信号的物理长度。

进一步地，获取标定板上每个可识别图形的第一纵坐标，包括：

采用所述LDI设备上的测量相机CCD测量标定板上每个可识别图形的第一纵坐标；

并对所述第一纵坐标进行存储。

进一步地，获取曝光于所述基板上各可识别图形的第二纵坐标，包括：