[发明专利]一种激光直写成像修正方法、装置、设备及存储介质

权利要求书

1.一种激光直写成像修正方法，其特征在于，包括：

获取标定板上每个可识别图形的第一纵坐标；

采用激光直写成像LDI设备将所述可识别图形曝光到附有感光材料的基板上，并获取曝光于所述基板上各可识别图形的第二纵坐标；

计算所述第一纵坐标与所述第二纵坐标之间的差值，并判断所述差值是否小于设定阈值；

若否，则根据所述差值调整图形曝光触发信号的物理长度；

基于所述物理长度返回执行采用激光直写成像LDI 设备将所述可识别图形曝光到附有感光材料的基板上，并获取曝光于所述基板上各可识别图形的第二纵坐标的操作，直到所述差值小于所述设定阈值；

将调整后的物理长度确定为所述激光直写成像LDI 设备的工作参数。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，计算所述第一纵坐标与所述第二纵坐标之间的差值，包括：

计算各可识别图形的第一纵坐标与第二纵坐标的差值；

将各差值的平均值确定为最终的差值。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述差值调整图形曝光触发信号的物理长度，包括：

根据所述差值和曝光次数确定信号调整值；

基于所述信号调整值调整图形曝光触发信号的物理长度。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，基于所述信号调整值调整图形曝光触发信号的物理长度，包括：

若所述差值大于零，则增大触发信号的物理长度；

若所述差值小于零，则减小触发信号的物理长度。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，获取标定板上每个可识别图形的第一纵坐标，包括：

采用所述LDI设备上的测量相机CCD测量标定板上每个可识别图形的第一纵坐标；

并对所述第一纵坐标进行存储。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，获取曝光于所述基板上各可识别图形的第二纵坐标，包括：

采用所述LDI设备上的测量相机CCD测量基板上每个可识别图形的第二纵坐标；

并对所述第二纵坐标进行存储。

7.一种激光直写成像修正装置，其特征在于，包括

第一纵坐标获取模块，用于获取标定板上每个可识别图形的第一纵坐标；

第二纵坐标获取模块，用于采用激光直写成像LDI设备将所述可识别图形曝光到附有感光材料的基板上，并获取曝光于所述基板上各可识别图形的第二纵坐标；

差值判断模块，用于计算所述第一纵坐标与所述第二纵坐标之间的差值，并判断所述差值是否小于设定阈值；

物理长度调整模块，用于若否，则根据所述差值调整图形曝光触发信号的物理长度；

返回执行模块，用于基于所述物理长度返回执行采用激光直写成像LDI 设备将所述可识别图形曝光到附有感光材料的基板上，并获取曝光于所述基板上各可识别图形的第二纵坐标的操作，直到所述差值小于所述设定阈值；

工作参数确定模块，用于将调整后的物理长度确定为所述激光直写成像LDI 设备的工作参数。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述差值判断模块还用于：

计算各可识别图形的第一纵坐标与第二纵坐标的差值；

将各差值的平均值确定为最终的差值。

9.一种计算机设备，其特征在于，所述设备包括：存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如权利要求1-6任一所述的激光直写成像修正方法。

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理装置执行时实现如权利要求1-6中任一所述的激光直写成像修正方法。