[发明专利]一种自动交接的多尺寸硅片传输装置

权利要求书

1.一种自动交接的多尺寸硅片传输装置，其特征在于：包括硅片抓取机械手(100)、传送导轨(200)、硅片交接机构(300)和对准基板(400)，所述硅片抓取机械手(100)安装在对准基板(400)外侧，通过旋转臂、旋转柱与限位钉配合，具有旋转和吸附功能；所述传送导轨(200)安装在硅片抓取机械手(100)与硅片交接机构(300)之间，用于传输硅片交接机构(300)并实现硅片抓取机械手(100)与硅片交接机构(300)之间的硅片交接；所述硅片交接机构(300)安装在传送导轨(200)上，可沿传送导轨(200)移动，在气缸和电机驱动基础上，通过控制三爪机构实现对硅片的抓放与提放；所述对准基板(400)位于整个机构底部，用于机构定位及保证硅片传输与交接的平稳性；

所述硅片交接机构(300)由伸缩机构底座(301)、升降电机基板(302)、升降电机(303)、上升光电开关连接板(304)、上升光电开关(305)、上升光电开关挡片(306)、上下硅片L板(307)、升降电机螺母(308)、升降导向杆(309)、下降光电开关连接板(310)、下降光电开关挡片(311)、下降光电开关(312)、升降限位杆(313)、弹簧(314)、伸缩杆(315)、伸缩杆盖板(316)、气缸(317)、气缸驱动连接块(318)组成；所述的伸缩机构底座(301)是整个硅片交接机构(300)的硅片放置底座；所述升降电机基板(302)是整个硅片交接机构(300)的基底，对整个结构起支撑作用；所述升降电机(303)安装在升降电机基板(302)下方，控制伸缩机构底座(301)及其固连器件的上下移动；所述上升光电开关连接板(304)两端分别与伸缩机构底座(301)和上升光电开关(305)固连；所述上升光电开关(305)与上升光电开关挡片(306)配合并感应控制机构的上升，进而实现硅片在竖直方向的夹紧；所述的上下硅片L板(307)安装在伸缩机构底座(301)槽内，底面与伸缩杆(315)相连，每个三爪机构包含三个呈120°夹角的上下硅片L板(307)，是抓取硅片的主要部件；所述升降电机螺母(308)位于升降电机基板(302)与伸缩机构底座(301)之间，其与升降导向杆(309)和升降限位杆(313)间隙配合，共同实现机构的竖直升降并限定最大升降位移；所述下降光电开关连接板(310)两端分别与伸缩机构底座(301)和下降光电开关(312)固连；所述下降光电开关挡片(311)和下降光电开关(312)配合并感应控制机构的下降位移，进而实现硅片在竖直方向的释放；所述弹簧(314)两端分别连接气缸(317)和伸缩杆(315)，传递气缸(317)动力，推动伸缩杆(315)做伸缩运动；所述伸缩杆(315)位于伸缩机构底座(301)沟槽内上端面与上下硅片L板(307)固连，带动上下硅片L板(307)做伸缩运动，进而实现硅片在水平方向的夹紧与释放；所述伸缩杆盖板(316)安装在伸缩机构底座(301)边缘，其独特的结构在保证伸缩杆(315)在一定范围内做伸缩运动的同时又不会脱离机构；所述气缸(317)为推动伸缩杆(315)的动力装置，含有三个且呈夹角120°放置；所述气缸驱动连接块(318)两端分别气缸(317)间隙配合和与伸缩机构底座(301)固连，对气缸(317)运动具有导向作用，且气缸(317)末端与螺母连接，控制其在运动过程中与气缸驱动连接块(318)的相对位移。

2.根据权利要求1所述的自动交接的多尺寸硅片传输装置，其特征在于：所述硅片抓取机械手(100)由传输旋转销钉(101)、轴承(102)、放片旋转柱(103)、旋转臂(104)、真空吸附孔(105)、放片机构承片台(106)、硅片定位钉(107)、放片旋转限位钉(108)、放片机构旋转轴销钉(109)组成；所述传输旋转销钉(101)与轴承(102)配合，带动放片旋转柱(103)与旋转臂(104)转动；所述放片机构旋转轴销钉(109)一端与放片旋转柱(103)固连，一端与放片旋转限位钉(108)错交，限制硅片抓取机械手(100)转动角度；所述放片旋转柱(103)与旋转臂(104)通过M6螺钉连接紧锁；所述旋转臂(104)末端通过放片机构承片 台(106)的真空吸附孔(105)实现硅片取放；旋转臂(104)上有多对不同位置的螺纹孔，可连接硅片定位钉(107)实现不同尺寸硅片的精准定位；所述放片旋转限位钉(108)安装在轴承(102)上，包含两个方向并呈正向相对，限制硅片抓取机械手(100)转动角度为180°。