[发明专利]激光器系统和控制激光器装置的方法

说明书

本发明涉及激光器系统和控制激光器装置的方法。本发明的激光器系统防止对激光进行导光的导光部件过热的情况。激光器系统具有：激光器装置，其具有生成激光的共振器部和对该共振器部生成的激光进行导光的导光部件；检测装置，其对激光器装置的温度、或者通过导光部件导光的激光的强度进行检测作为检测值；射出控制部，其在检测值超出预先设定的阈值时，停止从共振器部向导光部件射出激光；以及停止时间决定部，其根据所述检测装置检测出的检测值，决定使射出控制部停止射出激光的停止时间。

技术领域

本发明涉及激光器系统和控制激光器装置的方法。

背景技术

已知一种通过对结构要素的温度进行监视来检测动作异常的激光器系统(例如，日本特开2011－240361号公报)。以往，在激光器系统中存在对激光进行导光的导光部件过热的问题。

发明内容

本公开的一方式中，激光器系统具有：激光器装置，其具有生成激光的共振器部和对该共振器部生成的激光进行导光的导光部件；检测装置，其对激光器装置的温度、或者通过导光部件而被导光的激光的强度进行检测作为检测值；射出控制部，其在检测值超出预先设定的阈值时，停止从共振器部向导光部件射出激光；以及停止时间决定部，其根据检测装置检测出的检测值，决定使射出控制部停止射出激光的停止时间。

本公开的其他方式中，关于控制激光器装置的方法，所述激光器装置具有生成激光的共振器部和对该共振器部生成的激光进行导光的导光部件，对激光器装置的温度、或者通过导光部件而被导光的激光的强度进行检测作为检测值，在检测值超出预先设定的阈值时，停止从共振器部向导光部件射出激光，根据检测出的检测值，决定停止射出来自共振器部的激光的停止时间。

根据本公开，在检测值超出阈值时，在决定出的停止时间内停止射出激光，由此，可以防止导光部件过热而对该导光部件产生不良的情况(变形或者熔融等)。此外，通过根据检测值来决定停止时间，可以将该停止时间自动决定为对于冷却导光部件的最佳的时间。

附图说明

图1是一实施方式有关的激光器系统的图。

图2是表示激光器系统的动作流程的一例的流程图。

图3是表示导光部件的温度的时间变化的图。

图4是其他实施方式有关的激光器系统的图。

图5是另一实施方式有关的激光器系统的图。

图6是另一实施方式有关的激光器系统的图。

图7是一实施方式有关的激光器装置的图，区域B表示光纤的剖视图。

图8是放大了图7所示的激光器装置的主要部分的放大剖视图。

图9是其他实施方式有关的激光器装置的图。

图10是放大了图9所示的激光器装置的主要部分的放大剖视图。

图11是表示图1所示的激光器系统的其他功能的图。

具体实施方式

以下，根据附图对本公开的实施方式进行详细说明。另外，在以下要说明的各种实施方式中，对同样的要素标注相同的符号，省略重复的说明。首先，参照图1，对一实施方式有关的激光器系统10进行说明。激光器系统10是对工件W照射激光L₁来进行激光加工的激光加工系统。

激光器系统10具有：激光器装置12、控制装置14、温度传感器16、18以及20。激光器装置12具有：激光振荡器22、导光部件24、以及冷却装置26。激光振荡器22是气体激光振荡器(例如，二氧化碳激光振荡器)、或者固体激光振荡器(例如，YAG激光振荡器、或者纤维激光振荡器)等，生成激光而射出到导光部件24。