[发明专利]光源设备、照明装置、曝光装置以及用于制造物品的方法

说明书

公开了光源设备、照明装置、曝光装置以及用于制造物品的方法。为了使包括发光二极管(LED)阵列的光源设备中的被照射面上的光强度分布均匀化，光源设备包括发光二极管(LED)阵列，该发光二极管阵列包括电路，该电路具有基板、该基板上的多个LED芯片以及电源，其中，预定平面被用来自LED阵列的光照亮，多个LED芯片包括放置在该电路的同一列中的第一LED芯片和与第一LED芯片不同的第二LED芯片，并且第一LED芯片具有与第二LED芯片的放置角度不同的放置角度。

技术领域

本公开涉及光源设备、照明装置、曝光装置以及用于制造物品的方法。

背景技术

在制造半导体设备或平板显示器(FPD)的处理中，使用曝光装置。在光刻处理中，曝光装置通过投影光学系统将原件(掩模版或掩模)上的图案转印到感光基板(其表面上形成有抗蚀剂层的晶片或玻璃板)上。

例如，使用汞灯作为投影曝光装置的光源。近年来，期望用节约能量的发光二极管(LED)替换汞灯。在LED中，从当电流被施加到控制来自LED的发光的基板电路时到当光的输出变得稳定时的时间短。因此，LED不需要如在汞灯中那样总是发射光，因此寿命也长。

然而，每个LED的光输出远远小于汞灯的光输出。作为响应，在LED被用作光源代替汞灯的情况下，必须使用多个LED被排列在基板上的LED阵列来使光的总输出大。

日本专利申请公开No.2018-22884公开了一种使用LED作为光源的发光设备，并且公开了一种用于将多个LED元件的放置角度彼此区分开从而使被照射面上的明暗不明显的技术。

如果在包括同一列中的以同一放置角度放置的多个LED元件的LED阵列中来自LED元件的发光停止，那么被照射面上的光学特性可能改变。日本专利申请公开No.2018-22884没有认识到这种问题，并且没有公开控制来自LED的发光的基板电路的具体配置。

发明内容

通过认识到以下问题来触发本公开：当LED元件中发生故障时，被照射面上可能发生光的明暗。即，如果在LED阵列中所包括的LED元件中发生故障并且来自LED元件的发光停止，那么电流不流过与该LED元件放置在同一列中的LED元件，并且来自这些LED元件的发光也类似地停止。

作为用于解决以上问题的本发明的一方面，一种光源设备包括：发光二极管(LED)阵列，该发光二极管阵列包括电路，该电路具有基板、所述基板上的多个LED芯片以及电源，其中预定平面被用来自LED阵列的光照亮，多个LED芯片包括放置在电路的同一列中的第一LED芯片和与第一LED芯片不同的第二LED芯片，并且第一LED芯片具有与第二LED芯片的放置角度不同的放置角度。

根据以下参考附图对示例性实施例的描述，本发明的更多特征将变得清楚。

附图说明

图1是根据本发明的光源单元的示意性截面图。

图2A是根据本发明的LED阵列的平面图。

图2B是作为比较例的LED阵列的平面图。

图2C是根据本发明的LED阵列的平面图。

图2D是根据本发明的LED阵列的平面图。

图2E是根据本发明的LED阵列的平面图。

图3是根据本发明的LED阵列单元的平面图。

图4是根据本发明的LED阵列单元的平面图。

图5是根据本发明的照明光学系统的示意图。

图6是根据本发明的复眼(fly's-eye)光学系统的示意图。

图7是示出根据本发明的孔径光阑的图。

图8A是根据本发明的测量单元的示意图。