[发明专利]提高版图边缘格点的预测准确率的方法

说明书

本发明提供了一种提高版图边缘格点的预测准确率的方法，包括：输入版图；从所述版图的第一角开始，以固定的步进尺寸将所述版图依次划分为多个格点，直到所述版图边缘格点小于或等于非边缘格点；如果版图边缘格点小于非边缘格点，则提取版图上从所述第一角开始到边缘格点与非边缘格点的尺寸之差的范围内的几何信息，并将提取的几何信息补充到所述边缘格点内。可以减少版图在边缘格点处的热点误判的情况，提高版图在边缘格点预测的准确率。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种提高版图边缘格点的预测准确率的方法。

背景技术

当前化学机械抛光工艺的热点检测，通常包括如下步骤：载入版图；固定起始点版图切割；格点几何信息提取；模拟预测；热点检测；以及，热点修复。在固定起始点版图切割和格点几何信息提取这两个步骤中，在对版图从左下角按特定格点大小切割时(固定起始点，固定格点尺寸切割)，由于版图往往不是格点尺寸的整数倍，所以版图最右侧和最上侧的边缘格点，不包含完整格点的版图几何图形。例如，版图尺寸为M x N，格点边长为S，版图被切割为m*n个格点。在X方向，当(m-1)*SMm*S时，该版图最右侧非完整固定长度为m*S-M；同理，在Y方向当(n-1)*SNn*S时，该版图最上侧非完整固定长度为n*s-N。如图2内在右侧非完整格点{(X+(m-1)*S,Y)),(X+M,Y+S)}内，有几何图形a*b，则提取的几何信息如下：

Density(密度)＝a*b/S*(M-(m-1)*S)；

Perimeter(周长)＝2(a+b)；

Weighted LW＝a；

但由于非完整格点内版图几何图形不全，不能代表整个格点的信息，因此基于非完整格点提取的几何特征往往不准确。这样可能导致检测到的热点是误判，影响了预测的准确率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种提高版图边缘格点的预测准确率的方法，可以减少版图在边缘格点处的热点误判的情况，提高版图在边缘格点预测的准确率。

为了达到上述目的，本发明提供了一种提高版图边缘格点的预测准确率的方法，包括：

输入版图；

从所述版图的第一角开始，以固定的步进尺寸将所述版图依次划分为多个格点，直到所述版图边缘格点小于或等于非边缘格点；

如果版图边缘格点小于非边缘格点，则提取版图上从所述第一角开始到边缘格点与非边缘格点的尺寸之差的范围内的几何信息，并将提取的几何信息补充到所述边缘格点内。

可选的，在所述的提高版图边缘格点的预测准确率的方法中，所述版图包括：

第一边和第二边，所述第一边和所述第二边垂直；

所述第一边从第一角开始沿着第一方向延伸；

所述第二边沿着所述第一角向第二方向延伸。

可选的，在所述的提高版图边缘格点的预测准确率的方法中，所述固定的步进尺寸包括第一方向上的固定长度和第二方向上的固定长度。

可选的，在所述的提高版图边缘格点的预测准确率的方法中，所述固定长度大于0并且小于线宽的设计规则。

可选的，在所述的提高版图边缘格点的预测准确率的方法中，判断版图边缘格点小于非边缘格点的方法包括：

第一方向上的格点的数量与固定长度的乘积大于第一边的长度，版图在第一方向上的边缘格点小于非边缘格点；

第二方向上的格点的数量与固定长度的乘积大于第二边的长度，版图在第二方向上的边缘格点小于非边缘格点；